ASML出口到中国EUV仍在等待荷兰政府审核光刻机国产化已迫在眉睫|荷兰_新浪财经

原标题：ASML出口到中国EUV仍在等待荷兰政府审核光刻机国产化已迫在眉睫来源：华泰证券

据日经新闻报导，荷兰光刻机巨头ASML将暂时中止为“中国客户”供应“极紫外光(EUV)微影设备”。多位ASML供应商关系人士指出，ASML原先计划在2019年底之前供应EUV微影设备给中芯国际，“不过该计划目前已暂时叫停”。ASML之后澄清表示，根据瓦圣纳协议，ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可（export license）。该出口许可于今年到期，ASML已经于到期前重新进行申请，目前正在等待荷兰政府核准。

光刻机是半导体制造业中最核心的设备，半导体制造业皇冠上的明珠，光刻环节实现芯片设计图从掩模到硅片上的转移，是芯片生产流程中的最关键步骤，直接决定芯片的制程水平和性能水平。芯片在生产过程中需要进行20-30次的光刻，耗时占到制造环节的50%左右，占芯片生产成本的1/3。目前ASML在光刻机领域市占率近80%，基本垄断高端光刻机。光刻机是重要的卡脖子领域，国产化迫在眉睫。蓝英装备（300293）瑞士子公司UCM AG为ASML及其供应商提供极紫外光刻机（EUV）的光学系统相关关键部件的清洗设备。张江高科（600895）参股公司上海微电子是国内光刻机龙头。南大光电（300346）拟6亿元投建先进光刻胶材料项目。