原标题:蓝英装备:子公司为ASML提供极紫外光刻机的光学系统关键部件的清洗设备 来源:证券时报·e公司
e公司讯,蓝英装备(300293)11月7日在互动平台表示,公司瑞士子公司UCM AG自2008年开始与ASML(荷兰光刻机制造商阿斯麦公司)开展合作,目前UCM AG为ASML及其供应商提供极紫外光刻机(EUV)的光学系统相关关键部件的清洗设备。UCMAG积极向欧洲、中国、美国等地区拓展业务,开发市场,期待与相关应用领域的优质客户开展合作。
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