中芯国际唯一的极紫外光刻机跳票，国产高端芯片恐被荷兰拖后腿

原标题：中芯国际唯一的极紫外光刻机跳票，国产高端芯片恐被荷兰拖后腿 来源：腾讯自选股综合

即使是有来自美国四面八方的刁难，中国芯的进程仍是排除万难地朝前迈进，日前台积电顶住了来自美方的压力，持续为华为代工，Arm 也强调会继续提供华为新一代 V9 架构技术，然而，日前又有一道挑战关卡从天而降。

外媒披露，欧洲最大设备商，同时也是全球光刻机龙头荷商 ASML 因为出口许可（export license）尚未获得荷兰政府的核准和发放，导致关键机台极紫外光刻机（EUV）无法如期交货给中国客户。

ASML 强调是一视同仁对待全球客户，但此问题卡在法律程序上，目前尚在等待出口许可的核准。

(图：ASML 官网)

芯片制造的命脉：光刻机

ASML 是全球唯一可以供应 EUV 光刻机的半导体设备大商，EUV 光刻机主要是用在 7nm 以下工艺，一台要价一亿欧元，ASML 一年也顶多生产约 20 台，客户若有需求，要提前 1~2 年来预订，而目前台积电与三星都已经导入 EUV 光刻机来实现 7nm 工艺芯片的量产。

因为 EUV 光刻机牵涉到全球最高端工艺芯片技术的生产，ASML 在向中国出口这类设备之前，需要拿到政府发放的出口执照和核准。

ASML 针对 EUV 这类设备机台的出口执照，需要定期更新和延长，公司在 2019 年 7 月之前，已提前提出申请，但出口执照一直未发放下来，因此被动地无法将 EUV 机台出货给中国客户，但 ASML 强调，无法透露客户下单和交货的具体时程。

（图：DeepTech）

中芯的高端技术布局是否受影响？

EUV 光刻机是否可如期交货，牵涉到中芯国际在高端工艺技术的布局与时程。

中芯国际在投资人会议上已经披露高端技术的“三支箭”，分别为 14nm FinFET 工艺技术进入风险试产、12nm 工艺技术有客户进行流片，以及对于第二代 FinFET 技术 N+1 工艺的布局。

业内认为，中芯在 14nm 和12nm工艺节点上还用不到 EUV，2018 年下单预定 EUV光刻机是为了 N+1 工艺做准备，一般来说，这个工艺节点应该是 7nm 左右，但中芯并未披露第二代的 FinFET 技术是否定义在 7nm，也有可能是 8nm，但这都只是命名问题了。

半导体的微缩路线过去遵循摩尔定律，每一代工艺线宽会较上一代缩小 0.7 倍，因此从 90nm、65nm、45nm、32nm 都是遵循此定律的逻辑，但这样的步伐在 20nm 以下打破，摩尔定律放缓后，线宽微缩也无法像以前一样，台积电和三星开始分裂为 16nm 和 14nm，之后的工艺命名已经沦为宣传和营销战。

中芯在高端工艺上是猛烈追赶，一方面肩负国内高端制造的使命，另一方面，其竞争对手已经“打到家门口”，台积电在南京设立的 12 寸厂可以生产 16nm 和 12nm 技术，使得中芯必须更积极投入在高端技术的研发上。

美方施压，也成为供应链的担忧

美国自 2018 年以来，针对中国一些关键企业和技术不断祭出禁令。

2018 年 4 月，中兴通讯被禁止采购美国的零组件和软件，紧接着 11 月，国内 DRAM 厂商福建晋华被美国一纸禁令掐熄了正要进入生产的 DRAM 芯片火苗。

到了 2019 年 5 月，美国把目标瞄准 5G 技术超前的华为，限制美国零组件供应商、 Google、Arm 等暂停对华为提供技术。

一直维持对华为代工芯片的台积电，虽然挺下来了，但之后是纷扰不断，包括台积电可能碍于美方压力下，快速与竞争对手 GlobalFoundries 达成十年专利互相授权的和解官司。

（图：DeepTech）

近期，美国不断释放出希望台积电到美国设厂的信息，因为很多国防用芯片过去是 IBM 生产，现在 GlobalFoundries 接手 IBM 资产后，无法继续 7nm 以下到高端技术，美国以国防安全为由，一直要台积电赴美设厂。

台积电知道这场“邀约”的两难和敏感之处，赴美设立晶圆厂是不符合成本考量的，加上台积电善于管理集中生产，不擅远端管理，自然不会想去。

但是，未来若持续帮华为代工芯片，来自美方的压力势必不会间断，虽然台积电暂时以成本为由拒绝“邀约”，但业内人士观察，未来台积电赴美设厂的机率仍是有的，毕竟这是一个对当前局势的妥协之道，无法从商业利益来衡量。

设备和材料被卡住脖子

在美国对华为下重手之后，业内非常担心半导体机台设备和材料，会成为下一个被制裁的环节。

即使国内已有中微半导体、北方华创等设备供应商，但半导体机台和材料的精密和专业分工的程度，短时间内不可能达成 100% 国产化目标，尤其是 EUV 光刻机，全球居然只剩下 ASML 一家有能力生产。

这次 ASML 无奈又被迫地无法如期出货 EUV 机台给中芯，关键是在荷兰政府的出口批准上， 究竟当中的考虑为何？是碍于美国“暗中出手”，还是另有隐情？业内都在探寻。

如果 ASML 的 EUV 机台一直无法获得进入中国的批准和审核，这恐怕是继华为禁令之后，国内科技产业的另一波“巨浪”来袭。

如果连欧洲设备商的商业行为都受到政治干预，那未来美商、日商等设备大厂是否也会面临同样的状况。

然而，日前美国商务部长才释出中美可望在 11 月达成第一阶段的贸易协议，并且预计“很短期内”将发出美国企业出售零组件给华为的出口许可，看似双方关系将进入好的方向发展。

但同时，美国又不断找台积电“喝咖啡”力邀赴美设厂，而台积电的制造力挺，恰巧是华为的关键命脉。

另一方面又发生 ASML 的关键 EUV 机台无法进入中国的问题，这又紧系着中芯国际的高端工艺技术发展进程，这让人对于当前的局势有着雾里看花，既期待紧张关系松绑，但又怕预期落空的矛盾心情。

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