天准科技:参股公司开发的图形晶圆缺陷检测设备目前已形成原型样机

天准科技:参股公司开发的图形晶圆缺陷检测设备目前已形成原型样机
2023年05月10日 21:59 上海

天准科技5月10日在互动平台回答投资者提问时表示,公司参股的苏州矽行半导体有限公司,正在开发有图形晶圆缺陷检测设备,目前已经形成原型样机,进入内部测试阶段。

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