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原标题:上海新阳:与北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司签署《合作框架协议》
e公司讯,上海新阳(300236)1月5日晚公告,公司与北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司签署《合作框架协议》,双方将在ArF(193nm)干法光刻胶产业化领域采取多样化的模式,开展广泛、深入的合作。未来公司将采购的用于193nm ArF干法光刻胶研发的ASML-1400光刻机放置于合作方指定的地点,待底座安装完成后,光刻机即可进行调试使用。预计光刻机进入合作方现场的时间是2021年3月底前。
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责任编辑:邓健
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