被三家国际半导体巨头起诉未尝败绩

原标题：被三家国际半导体巨头起诉未尝败绩 来源：解放日报

■本报首席记者俞陶然

5纳米约为头发丝直径的1/15000，制造5纳米逻辑器件，要用目前全球最先进的集成电路技术。中微半导体设备(上海)股份有限公司自主研发的甚高频去耦合反应离子刻蚀机，已在5纳米芯片生产厂核准，投入量产并实现批量销售。

昨天，中微公司荣获上海市知识产权创新奖(保护)，这是上海与世界知识产权组织首次联合颁发的重要奖项。截至今年6月底，这家科创板上市公司已申请专利1280件，其中961件获得授权。在与国际半导体设备领先企业的3次专利或商业秘密诉讼中，中微未尝败绩。中微董事长尹志尧揭示原因有两方面：内因是公司先进的管理理念、强大的研发能力和严格的知识产权管理制度，外因是来自国家和上海的长期支持。

从没企业愿投到争相投资

15年前，尹志尧带领14名半导体设备行业的华人技术和管理专家来到张江，创立中微公司。那时，尹志尧已从美国应用材料公司副总裁岗位退休，本可以享受安逸的退休生活。原上海市政府副秘书长江上舟与包括他在内的一批海外华人留学生交流后，触发了他回国创业的念头。

“当时的市领导非常支持我们，把中微要研发的半导体化学薄膜制造及等离子体刻蚀设备，列入上海市科教兴市项目。”尹志尧说，在相关协议中，上海创投承诺对中微投资5000万元。凭借这份协议，中微团队开始在国内融资。然而，多家国企、民企和投资公司研究中微项目后，都不愿投资。无奈，尹志尧只得前往美国硅谷，在那里完成华登国际领投的3949万美元A轮融资。

此后15年间，我国集成电路产业政策和投资环境越来越好，这反映在中微的融资进程中：从C轮起，上海科创投集团领投了这家上海企业，成为中微第一大股东；从D轮起，投资机构主要来自中国，国家集成电路产业投资基金成为第二大股东。

凭自主创新和专利战略胜出

“中微的成长历程，可谓九死一生。”上海科创投集团总经理沈伟国说，3家美国半导体设备企业对中微轮番发起知识产权诉讼，这是决定企业生死的坎。

中微成立4年后，自主研发的等离子体刻蚀机进入中芯国际生产线，还将进入台湾最先进的芯片生产线。得知这个消息，国际半导体设备巨头应用材料公司坐不住了，向美国联邦法院起诉中微侵犯其商业秘密。这是一次没有证据的起诉，但按照美国法律，被告必须自证清白。中微积极应对，聘美富律师事务所对其进行调查。这家律所耗时两年半，查阅600多万份中微文件以及30多名曾在应用材料工作的员工个人文件和电脑，认定他们是清白的。最终，应用材料与中微达成诉讼和解。

2009年，国际最先进的等离子体刻蚀设备厂商泛林集团出手，向中国台湾地区智慧财产法院起诉中微侵犯其两个专利权。对于专利官司，中微早有准备。他们深入研究国际竞争者、客户和零部件供应商的数千件专利，分析哪些专利是无效的，哪些不可逾越。他们还非常重视专利保护，截至今年6月底，已申请1280件专利。凭借自主创新和专利战略，中微又一次经受住考验，泛林起诉8个月后被判专利无效。之后，这家美企又上诉4次，全部败诉。

2017年，国际领先的MOCVD(金属有机化学气相沉积设备)制造商维易科公司向纽约东区法院起诉中微的德国供应商，认为它根据中微设计制造的反应器旋转托盘侵犯其专利权。当时，中微研发的MOCVD正大举进入全球市场。纽约东区法院在未作出中微是否侵权的裁决前，就向中微实施旋转盘禁运。为了反击，中微向中国国家知识产权局提出维易科专利无效申请，并向福建高院起诉维易科的旋转盘设计侵犯中微专利权。2017年11月，国家知识产权局专利复审委确认中微专利有效。福建高院随即对维易科的MOCVD实施禁运。去年2月，中微及其德国供应商与维易科达成诉讼和解。

“店小二”助力登陆科创板

中微在历次诉讼中未尝败绩，靠的是公司先进的管理理念和强大的研发能力。国家和上海的长期支持，让中微历经考验，成功登陆科创板。

从2009年起，这家上海企业成为国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”首批承担单位之一，先后承担了5个项目，在等离子体刻蚀机多项技术上取得突破。

2012年，尹志尧等4位上海集成电路领军人物联名建议：将半导体芯片工业作为国家重点扶持的战略性产业，在未来10—20年内实现跨越式发展。这封信得到中央领导高度重视。

2014年6月，工业和信息化部发布《国家集成电路产业发展推进纲要》，决定设立国家集成电路产业投资基金。基金投资的第一家企业就是中微。

今年7月中微成功上市。“真是不可思议！”上海科创投集团副总经理朱民感慨道，“从宣布设立科创板并试点注册制，到中微上市，前后只有8个多月。”不可思议的背后，是科创板对高科技企业的扶持，为这类企业打通资本市场创造条件。不可思议的背后，还有政府的“店小二”服务，为推动中微成为首批科创板上市公司之一，市国资委多次召开专题研究会，提出评估备案、产权登记和国资确权方案；为加快中微申报上市前的工商变更登记，市市场监管局变“串联审批”为“并联推进”。在中微发展历程中，市发展改革委、市财政局、市经信工作党委、市科委等部门也给予大力支持。

登陆科创板后，尹志尧对公司未来充满期待：“我们要开发更先进的等离子体刻蚀机和化学薄膜设备，继续扩大市场占有率。我们要通过并购与合作，和国内外设备公司协同发展。我们还要寻找和公司核心技术相关的新增长点。”在这一领域，“中国创造”将具有越来越大的全球影响力。