据上海积塔半导体设备中标结果公告显示，万业企业（600641.SH）旗下嘉芯迦能公司成功中标上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目7台薄膜沉积设备，包括6台高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）和1台二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD）。
7月29日，据上海积塔半导体设备中标结果公告显示，万业企业（600641.SH）旗下嘉芯迦能公司成功中标上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目7台薄膜沉积设备，包括6台高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）和1台二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD）。
另据介绍，7月万业企业旗下嘉芯闳扬的快速热处理设备（RTP）、嘉芯迦能的薄膜沉积设备均成功跻身上海积塔特色工艺产线。
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