据市场消息称，中芯国际（00981）向ASML订购价值1.2亿美元的首批EUV光刻机（Mask Aligner）。此次采购将有助于推动中国自主研发半导体生产。
ASML发言人表示，公司平等对待对待全球客户，包括中国客户，并且依据瓦圣纳协定，没有限制向中国客户销售EUV光刻机。
光刻机是制造微机电、光电、二极管大规模集成电路的关键设备。ASML是荷兰半导体设备制造商，并于欧美上市。
责任编辑：张海营
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