中微公司(688012.SH)公告，根据上海联合产权交易所公开挂牌相关工作流程，睿励科学仪器(上海)有限公司6.7575%股权通过挂牌公示及网络竞价后征集到1个符合条件的意向受让方即公司。公司以挂牌价格人民币5790.21万元取得标的股权。公司于2023年5月17日按要求与国家集成电路产业投资基金股份有限公司签订《上海市产权交易合同》。
据悉，集成电路芯片生产设备包括光刻、刻蚀、薄膜、工艺检测、清洗、离子注入等诸多个细分种类。工艺检测设备是为芯片生产各工艺提供监测数据以确保各项工艺指标满足要求从而提高成品率的关键性设备。随着芯片工艺不断向更小节点发展，芯片生产过程中的所需检测的步骤和频次越来越高，对工艺检测设备的需求量随之增加。此次交易有利于进一步促进公司产业链延伸。
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