至纯科技(603690.SH)披露2022年年度报告，该公司年度实现营业收入30.50亿元，同比增长46.32%。归属于上市公司股东的净利润2.82亿元，同比增长0.24%。归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润2.85亿元，同比增长76.03%。基本每股收益为0.889元/股。拟每10股派发现金红利1.324元(含税)，并每10股派送红股2股(含税)。
2022年度，该公司新增订单总额为42.19亿元，同比增长30.62%，其中半导体制程设备新增订单18.00亿元，同比增长60.71%。2023年，公司预计年度新增订单区间在52-57亿元，制程设备订单区间为20-25亿元。
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