【深度·天风电子】半导体设备零部件：小而美子赛道组成数百亿美元市场，国产化尚有大空间|半导体_新浪财经

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1. 半导体设备零部件细分种类多，在半导体设备中价值占比高

1）从产业链上来看，半导体设备零部件处于偏上游的位置。按照各类零部件在设备上的不同功能，可其大致分为机械加工件类、物料传送类、电气类、真空类、气液输送类、光学类、热管理类等。

2）半导体设备零部件是半导体设备厂商最主要的营业成本来源，在半导体设备厂商营业成本中占90%左右，我们测算占半导体设备总价值量50%左右。

2. 半导体设备零部件行业中国外厂商占据头部地位，国产化空间大

1）半导体零部件行业中国外厂商占据头部位置，国产率整体较低。根据芯谋研究，目前石英、喷淋头、边缘环等零部件国产化率达到10%以上，射频发生器、MFC、机械臂等零部件的国产化率在1%-5%，而阀门、静电卡盘、测量仪表等零部件的国产化率不足1%。

2）我们预测半导体设备零部件的全球市场规模可达数百亿美元，中国大陆超百亿美元。我们预测中国大陆半导体设备零部件市场2022年预期规模为145亿美元，2030年预期市场规模约为180亿美元。

3.半导体产能向国内转移，国内厂商“横向”发展系机遇所在

1）半导体行业高景气，产能不断向国内转移。

2）复盘海外龙头公司成长路径。1）从短期看：在单一赛道夯实产品竞争力，是后续发展的基础；2）从中期看：横向拓展产品种类、纵向（部分）开拓下游应用是持续发展的两条路径，通过业务版图扩张，公司业绩天花板得以重塑；3）从长期看：“横+纵”向协同发力是持续成长的源动力。

3）横或纵向拓展业务版图是国内公司发展的必经之路。从国内公司现状来看，国内公司目前大多数仍处于发展的第一阶段，业务较为单一且整体体量较小，因此短期内借国产替代的东风提升拳头产品核心竞争力是第一要务；长期来看，横/纵（部分）向拓展业务版图是发展的必经之路。

4）横向拓展以发挥国产商家后发优势。海外厂商先发优势明显，Know how经验积累十分重要，国内公司很难能够在后发的情况下做成某一产品的绝对龙头，同时仅有部分赛道公司可实现由下而上的纵向拓展。我们认为横向拓展业务品类是国内设备零部件公司发展的必要途径，充分发挥后发优势。

4. 投资建议

随着半导体行业不断向中国大陆转移，国内半导体设备零部件厂商迎来新机遇。我们看好国内厂商在单一赛道夯实产品竞争力后，拓张业务版图，重塑业绩天花板。建议关注：

（1）正帆科技：工艺介质系统先行者，装备+材料+服务打造核心竞争力

（2）江丰电子：靶材国产替代龙头，持续研发促技术突破

（3）北方华创：业绩持续高增长，设备品类加速扩张

（4）新莱应材（维权）：覆盖医药+泛半导体+食品包装，三大业务市场前景广阔

（5）华亚智能：下游订单高需求，公司收入利润规模继续高增长

（6）神工股份：轻掺硅片厚积薄发，电极材料国产替代加速

（7）英杰电气：业绩稳定上升，新增订单全行业增长

（8）富创精密：拥有多种技术工艺和先进技术，业绩呈上涨趋势

风险提示：海内外疫情反复风险、研发成果不及预期、下游需求不及预期、客户认证进度不及预期

1.半导体设备零部件简介及分类

1.1. 半导体设备的核心部分，下游厂商营业成本的主要来源

半导体设备由大量零部件组成，零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性，因此半导体设备零部件需要在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等性能方面达到半导体设备及技术要求。半导体零部件是半导体行业的基石。常见的半导体零部件有密封圈（O-Ring）、传送模块（EFEM）、射频电源（RF Generator）、静电吸盘（ESC）、硅环等结构件（Si）、真空泵（Pump）、气体流量计（MFC）、喷淋头（Shower Head）等。

半导体零部件产业通常具有高技术密集、学科交叉融合，同时在价值链上举足轻重等特点。半导体设备零部件是半导体设备厂商最主要的营业成本来源，在半导体设备厂商营业成本中占90%左右，经我们测算得出其占半导体设备总价值量的50%左右。半导体设备零部件是半导体产业赖以生存和发展的关键支撑，其水平直接决定我国在半导体产业创新方面的基础能级。

目前我国半导体零部件产业尚处于起步期，核心零部件仍然依赖进口。根据芯谋研究，目前石英、喷淋头、边缘环等零部件国产化率达到10%以上，射频发生器、MFC、机械臂等零部件的国产化率在1%-5%，而阀门、静电吸盘、测量仪表等零部件的国产化率不足1%。我们认为，通用零部件的国产化率低，主要原因在于通用零部件的设计和生产要求高，国内加工商通常难以满足要求，由于我国半导体设备发展还未成熟，在通用零部件的采购上也较为被动，不敢轻易尝试国产新品种。

1.2. 细分产品种类众多，通用型零部件较多

从产业链上来看，半导体设备零部件处于偏上游的位置。

按照各类零部件在设备上的不同功能，可其大致分为机械加工件类、物料传送类、电气类、真空类、气液输送类、光学类、热管理类等。

1.2.1.机械加工类零部件

机械加工类零部件主要包括石英制品、陶瓷制品、腔体和抛光类，不同类别的零部件有不同的应用与技术难点。以ESC静电吸盘为例，它在半导体制造中用于固定晶圆，以氧化铝陶瓷或氮化铝陶瓷作为主体材料，同时加入其他导电物质使得其总体电阻率满足功能性要求，对陶瓷材料的导热性，耐磨性及硬度都有所要求，且陶瓷内部有机加工构造精度要求高，陶瓷层和金属底座结合要满足均匀性和高强度的要求。

1.2.2.物料传送类零部件

物料传送类零部件包括机械手臂、EFEM、轴承、精密轨道、步进马达等。机械手臂在半导体设备中起到搬运作用，可在集群工具和线性配置的工艺模块之间安全地同时传输单个或多个晶圆。因为晶圆硅晶片极其容易受到其他颗粒的污染，所以一般在真空环境下进行。在此环境下，大部分材料的机械手臂一般难以完成工作，制作机械手臂的材料需要耐高温、耐磨、并且硬度要求也很高。

1.2.3.电气类零部件

电器类零部件分为可编程控制器、传感器、发生器、射频电源以及供电系统等，主要应用于刻蚀、清洗、CMP抛光等步骤中。其中，可编程控制器是通过数字式或模拟式的输入输出来控制各种类型的机械设备或生产过程；射频电源是用于射频电路或射频设备的电源，要求电源供电平稳，瞬间供电要求较高；传感器包括压力传感器、温度传感器等；发生器包括臭氧发生器、CO2混合发生器、氢气发生器、兆声波发生器等。

1.2.4. 真空类零部件

真空类零部件包括真空泵、真空阀、真空规、高真空压力计以及气体流量计，主要应用于刻蚀、清洗以及对环境清洁度要求较高的PVD工艺中。真空泵的技术难点在于气体动力学设计、材料、微米级精密加工、表面处理以及精密装配等；真空阀的技术难点在于材料等级高、耐磨抗腐蚀等；真空规的技术难点在于测量工艺的要求高及型号多样；高真空压力计的难点在于测量超高真空工艺环境压力以及形制特殊。

1.2.5.气液输送类零部件

气液输送类零部件包括气柜、气体流量计、气体控制模块、传输阀门、电磁阀以及过滤器。其中，气柜用于贮存各种工业气体，同时也用于平衡气体需用量的不均匀性，可分为低压气柜和高压气柜两大类，主要用于刻蚀、CMP工艺中；气体流量计是对气体进行流速测量和控制的一种零部件，要求响应速度快、精确度高、稳定性好、耐腐蚀性好、使用寿命长；过滤器由筒体、不锈钢滤网、排污部分、传动装置及电气控制部分组成，按获得过滤推动力的方法不同，分为重力过滤器、真空过滤器和加压过滤器三类。

1.2.6. 光学类零部件

光学类设备零部件主要用于半导体光刻机。一套完整的光刻机包括多个组成系统，主要包括曝光系统、自动对准系统、整机软件系统等。其中，曝光系统更是包含了照明系统和投影物镜。在组成光科技的所有核心精密零件中，光学镜头、光学光源以及工作台又可以说是核心中的核心。

光刻机的光学光源所包含的光源波长是决定光刻机工业能力的重要部分。需要特别注意的是，光刻机所需要的光源，必须具备体积小、功率高以及稳定的几个特点。越来越小、功能更强大、更节能的微芯片是数字化的基础。为了实现这一点，芯片的结构必须逐渐变得更精细。这只能通过光学系统和光学组件越来越精确，使光的波长越来越短来实现。

1.2.7. 热管理类零部件

热管理类零部件用于管理与控制半导体设备的温度，包含热电组件、热电温度控制器等。热电模块是板状半导体冷却装置，当电流流过两种不同金属的结点时会产生热量，它利用这份热量来工作。它们结构紧凑、重量很轻，通常用于汽车的温度控制座椅、冷却冷却器、光通信、生物技术、空调以及各种消费电子产品。每个热电系统都需要一个温度控制器来进行管理。大多数现有的温度控制解决方案并不适合控制热电模块，这时需要使用专为控制热电模块的独特需求而设计的温度控制器。

2. 半导体设备零部件市场规模测算

2.1. 零部件价值在半导体设备总价值中占比近半

2021年大陆半导体设备厂商北方华创、芯源微、中微公司、盛美上海、拓荆科技、华海清科毛利率均值为42.02%，国际龙头应用材料、泛林半导体、东京电子（东京电子为2021财年）毛利率分别为47.32%、46.53%、45.50%，综合以40%作为半导体设备厂商综合毛利率；

上述几家大陆半导体设备厂商直接材料费用占营业成本比例均值为90.88%，以90%作为半导体设备厂商直接材料占营业成本比例；

假设零部件成本在直接材料费用中占比90%，综合以上假设可估测半导体设备零部件价值占半导体设备总价值的48.6%。

2.2. 市场规模：全球可达数百亿美元，中国大陆超百亿美元

由以上数据可测算出全球半导体设备零部件市场2022年预期规模为554亿美元，2030年预期规模为680亿美元。

Semi数据显示，2020年中国大陆半导体设备销售额为187.2亿美元，占全球总销售额26.3%，由于各国及地区半导体产业资本支出变动有不确定性，因此以26.3%作为预测期内中国大陆占全球半导体设备销售额比例，可以测算出中国大陆半导体设备零部件市场2022年预期规模为145亿美元，2030年预期市场规模约为180亿美元。

2.3. 中国大陆市场：关键零部件市场规模超十亿美元

根据芯谋研究，以2020年中国晶圆厂商采购的8-12吋晶圆设备零部件产品结构为依据，在各类零部件中应用较多的有石英制品（11%）、射频发生器（10%）、泵（10%）、阀门（9%）、静电吸盘（9%）、喷淋头（8%）等。

进一步测算得到中国大陆各细分零部件市场规模——以2022年为例，前三位的石英制品为16.03亿美元、射频发生器和泵均为14.57亿美元。

2.4. 专用零部件：光刻机零部件市场规模大

光刻机的价值量在半导体设备中占比大，镜头光源等关键零部件与其他设备不通用。假设光刻机销售额在半导体设备中占25%，可以得到全球光刻机零部件市场2022年预期规模为138.51亿美元，2030年预期规模约为170.1亿美元。

2.5. 专用零部件：CMP设备机械加工件基本为专项专用

根据华海清科招股说明书，CMP设备用到的的机械加工件基本为CMP设备专用，且机械加工件在其原材料费用中占比最大，2019和2020年占比均超过40%。

根据Semi，假设CMP设备在半导体设备市场规模中占比为2017年-2019年占比的均值3.2%，且CMP设备专用零部件占CMP设备零部件总价值量的40%，可以得到全球CMP设备专用零部件市场2022年预期规模为7.09亿美元，2030年预期规模为8.71亿美元。

3. 半导体设备零部件市场格局

3.1. 国外厂商稳踞行业头部，细分品类集中度高

根据VLSI Research，2021年全球半导体设备子系统前十大供应商分别为ZEISS、MKS、Edwards、Horiba、Advanced Energy、VAT、UCT、Ichor Systems、ASML、EBARA。前三名中，蔡司为ASML的EUV光刻机镜头供应商，MKS 为生产射频组件、阀门组件、测量仪表等产品的半导体设备零部件平台型企业，Edwards为泵类供应商。

头部半导体设备子系统供应商的市场地位趋于稳固。2000-2010年半导体设备零部件市场CR10总体呈增长趋势，2010年-2020年总体稳定在50%左右。

细分品类的集中度往往较高。例如在静电吸盘领域，基本由美国和日本半导体企业主导，市场份额占95%以上，主要有美国AMAT（应用材料）、美国LAM（泛林），以及日本Shinko（新光电气）、TOTO、NTK等。

3.2. 各细分赛道中厂商分布广，小而美特点突出

通用型零部件种类及对应厂商分布广，大多营收规模较小。半导体设备用到多种通用型零部件，如密封圈、机械手、射频电源、静电吸盘、硅环等结构件、真空泵、气体流量计、精密轴承、喷淋头等主要零部件。半导体零部件市场碎片化特征明显，单一产品的市场空间很小，同时技术门槛又高，因此少有纯粹的半导体零部件公司。各个零部件子行业中一般有两到多家厂商，大部分头部厂商的相关营收在10亿美元以下。

3.3. 国产率目前较低，未来提升空间较大

半导体设备零部件国产率整体较低。目前国产率超过10%的仅有石英制品、喷淋头、边缘环组件等几类，其他零部件国产率均较低，尤其是阀门、测量计、密封圈等几乎完全依赖进口。据国内主流代工厂数据，目前全年日常运营过程中领用的零部件（括维保更换和失效更换的零部件）达到2000种以上，但国产占有率仅为8%左右，美国和日本占有率分别为59.7%和26.7%。

半导体设备零部件国产化率低主要由于以下因素：1）很多半导体设备零部件是比较复杂的电子和机械产品，开发技术难度较大，精度要求高；2）半导体设备对材料要求高；3）半导体设备零部件市场小、碎片化特征明显，之前厂商出于盈利性考虑未发展相应业务。

大陆半导体设备零部件行业增长因素主要有：1）大陆半导体产业扩产带动设备需求增长；2）国产半导体设备渗透率提高带动半导体设备零部件国产化；3）新冠疫情造成部分零部件产能紧张，国外厂商零部件交期延迟，为国产替代带来契机；4）更多大陆厂商在现有业务基础上切入半导体设备零部件行业，国产化零部件也将越来越受重视。

3.4. 厂商间有不同产品布局战略，“纵向”与“横向”战略并存

半导体设备零部件行业子赛道较多的特点使得相关厂商中存在“纵向”与“横向”两类布局。

“纵向”布局是指厂商通过由现有技术开发或收购等方式，在半导体设备零部件业务之外也开展其他领域的业务或由其他业务切入半导体相关业务，成为覆盖多个行业的平台型企业。如深耕真空部件的VAT集团作为全球半导体设备真空阀件头部厂商，同时还开展医药、光伏、显示等领域的真空阀件业务。

“横向”布局是指厂商深耕半导体设备零部件行业，通过研发与收购等方式进入行业内多个子赛道，成为覆盖行业内多类产品的平台型企业。如MKS拥有半导体设备真空部件、射频发生器、流量计等多类产品线，2021年MKS半导体设备零部件收入占公司总营收62%。

MKS等“横向”平台型企业，近几年也通过收购等方式，开拓其他行业内相关业务，形成“横向”+“纵向”的新发展格局。

4. 聚焦海外龙头

4.1. 复盘海外龙头成长路径，看国内公司发展机会

通过对龙头公司的分析研究，我们发现在半导体设备零部件这个细分赛道众多、且多数呈现出“小而美”特征的大赛道中，以下4类公司均有望胜出：

1）专注行业壁垒高、天花板高的单一零部件，打造专精特尖公司，例如：超科林；

2）聚焦半导体设备行业，拓展零部件产品种类的横向发展公司，例如：Ferrotec；

3）深耕单一“通用型”零部件，但下游应用广泛的纵向发展公司，例如：VAT；

4） Know-how积累丰富，“横+纵”向发力的全平台型公司，例如：MKS 。

营收体量：MKS（$29.50亿）＞超科林（$21.02亿）＞Ferrotec（$11.02亿）＞VAT（$9.88亿）

毛利率：VAT（61%）＞MKS（46.8%）＞ Ferrotec （36.4%）＞超科林（20.5%）

从全球市场来看，上述4类公司代表了半导体设备零部件赛道内优质公司的不同发展阶段和路径：1）从短期看：在单一赛道夯实产品竞争力，是后续发展的基础；2）从中期看：横向拓展产品种类、纵向（部分）开拓下游应用是持续发展的两条路径，通过业务版图扩张，公司业绩天花板得以重塑；3）从长期看：“横+纵”向协同发力是持续成长的源动力。

从国内公司现状来看，国内公司目前大多数仍处于发展的第一阶段，业务较为单一且整体体量较小，因此短期内借国产替代的东风提升拳头产品核心竞争力是第一要务；长期来看，横/纵（部分）向拓展业务版图是发展的必经之路。

4.2. VAT：真空阀全球领导者，下游客户遍及各类高端制造业

瑞士 VAT 是一家面向高端制造的真空阀供应商。公司主要业务板块包括真空阀产品以及全球服务板块，其中真空阀产品收入占比超过80%，为公司主要营收来源。

VAT 真空阀产品种类齐全，2015年即可提供8000多个定制产品和2500多个标准产品。VAT 的真空阀产品被广泛应用于高科技制造行业，包括：半导体、显示器、LCD、OLED、太阳能电池、工业和医疗等行业。

据VLSI Research数据， VAT市占率常年稳居全球第一，且份额逐年提高，2020年 VAT 在全球真空阀市场份额已达到55%，远超同业其他公司。

半导体行业的周期性与成长性是公司业绩变动的主要外部动力，未来的成长性仍主要与半导体应用需求旺盛有关。公司营业收入按下游应用分：半导体行业收入占比约为75%；板&太阳能板约7%；高端工业制造收入占比约14%。公司阀产品在半导体领域的市占率逐年提升，2021年在全球市场规模中占比达到75%。公司行业know-how经验丰富，从设计到大规模量产的效率极高，能够快速满足客户需求。

公司业绩稳步增长，行业龙头地位稳固。公司2021年营收9.89亿美元，同比增长30.1%，净利润2.39亿美元，同比增长64.94%，业绩增长速度同半导体产业周期共振，呈现螺旋式上升状。公司近年毛、净利率保持稳定，2021年毛利率61.0%，净利率24.1%，保持行业领先水平。公司2022年8月12日总市值85.52亿美元，行业龙头地位稳定。

4.3. 超科林：管理层经验丰富，深耕气体运输系统

超科林前身系三菱金属的子公司，1991年公司成立将日本开发的超清洁制造技术带入硅谷。2002年管理层收购了公司，超科林于美国成立，主要为半导体设备企业提供关键气体和流体输送子系统、组件和部件以及超高纯度清洁和分析服务，产品主要为气体管路与气柜，应用于刻蚀、薄膜沉积和离子注入设备等，产品的核心指标为洁净度和密封性等。

公司CEO系前应用材料公司高管，其他管理层成员具有优秀学历背景，团队兼具充分的研发、管理经验，在焊接技术方面领先优势明显。2001-2010年垂直整合补强公司气体运输系统，自2011年开始扩张业务版图，目前仍处于版图扩张早期。

公司核心技术优势显著，掌握优质客户资源。公司掌握两项核心技术：1）气体运输：高端焊接技术。超科林是超高纯度（UHP）轨道焊和手工焊接领域的全球领导者，能力范围包括小到大直径UHP轨道制造、轨道焊接、手工焊接和精密弯管。通过将机器人焊接与手工工艺相结合，将高纯度和轨道焊接的艺术转变为一门强大的制造科学。2）设备清洗：专注晶圆制造中的最关键工艺领域—化学分析技术能力。

半导体为公司下游核心应用领域。公司2021产品销售收入占比为85.8%，自2020年以来实现高增长。从下游应用领域来看，公司在半导体领域收入占比最高，其中foundry/logic领域占比42%，存储领域占比36%。公司拥有稳定客户群，泛林、应用材料为核心下游，合计份额64%。

公司营收高速增长，期间费用率表现良好。公司2021年营收21.02亿美元，同比增长近50.26%，净利润1.20亿美元，同比增长53.99%。公司近年净利率高速增长，2021年来营收高速增长，毛利率为20.46%。公司2022年8月12日总市值14.95亿美元，PE（TTM）=12.21，PB=1.70。

4.4. Ferrotec：以磁流体技术为基石，围绕半导体拓展业务板块

日本 Ferrotec 成立于 1980年，是国际知名的半导体产品与解决方案供应商。

Ferrotec以磁性流体技术和磁流体密封技术为基石，通过大量收购、并购补强自身技术，经过40余年的发展，公司目前业务可覆盖三大板块：半导体与其他设备相关、电子器件和其他。

半导体相关产品及服务系公司最核心业务板块，目前销售占比超过60%。该业务板块仍可进一步细分为三大子板块：1）零部件：真空密封件、石英部件、陶瓷部件、CVD-SiC等，其中石英和陶瓷部件销售额在半导体业务板块中占比超过30%；2）设备：单晶炉、电子束镀膜装置、清洗业务，其中清洗业务收入近几年迅速增长；3）材料：硅片等。电子器件系公司第二大核心业务，目前销售占比超过20%，其中温控模组产品为该板块的主要收入来源。

半导体产品种类丰富，广泛应用于前道设备。Ferrotec 半导体相关产品及服务业务涉猎广泛，零部件产品可被广泛应用于半导体制造过程中的多种前道设备中，例如：石英部件在硅片制造、氧化、刻蚀等设备中均有应用。公司细分赛道产品全球市占率高，始终与客户保持密切联系，相对于其他公司来说，Ferrotec更能够主动感知客户的需求。在销售板块努力拓展的同时，公司也一直在采取成本管理措施，例如在全球设立制造工厂等。

公司近年来积极布局中国市场：1）杭州大和热磁电子有限公司成立于 1992 年，为半导体设备精密零部件业务主要经营实体，是国际半导体设备企业的直接供应商。陶瓷、石英、硅及碳化硅等非金属零部件业务规模较大；2）2010-2019年相继成立多家中国公司，其中：中欣晶圆成立于 2017 年，位于杭州市钱塘新区大江东产业集聚区，主要从事高品质集成电路用半导体晶圆片的研发与生产制造。中国是全球半导体设备最大的市场，ferrotec在中国的提早布局和相对独立运营是其重要的战略选择，对后续深耕中国&拓展全球市场有重大作用。

公司业绩周期性波动，盈利能力逐步提高。公司2021年营收11.02亿美元，同比增长约33.48%，净利润2.20亿美元，同比增长193.24%。公司近年毛、净利率逐渐提高，2021年毛利率36.4%，净利率19.9%，盈利质量逐渐改善。公司2022年8月12日总市值约8.39亿美元。

4.5. MKS：“横+纵”向协同发展，打造平台型公司

MKS成立于1961年，是一家全球领先的仪器、系统和过程控制方案的供应商。公司产品种类丰富，下游应用广泛。公司产品起源于压力测量和控制核心技术，并延伸到材料递送、气体成分分析、静电荷控制、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术，主要产品包括：气体反应器/压力计、射频/直流电源、真空产品、气体分析仪器等，广泛应用于各种半导体生产设备和制造过程中。公司还将技术应用到其他先进制造业中，包括平板显示器，太阳能电池，LED的制造；和医疗设备、医药制造、能源和环境监测等领域。

公司营收结构按部门分为真空与分析、光与运动和设备与解决方案三部分，其中：真空与分析部门主要提供压力和真空控制解决方案，对应上述产品；光与运动部门提供激光器和基于激光器的系统，如：光纤激光器等；设备与解决方案部门主要为PCB制造提供基于激光的系统。

MKS 成立至今已有60余年的发展历史，并购是公司发展的核心战略。MKS 发展前期亦经历过前文介绍的三家公司的成长路径，即不断新增零部件相关业务的同时拓宽下游应用；而复盘近20年的主要并购事件，可以发现公司的业务版图已不仅局限于设备零部件领域，如2016年开始进军激光行业，2019年开展设备及服务业务，公司业绩天花板不断被重塑。

公司业绩高速增长，盈利能力不断提高。公司2021年营收29.50亿美元，同比增长26.6%，净利润5.51亿美元，同比增长57.5%。近三年毛、净利率持续升高，2021年毛利率46.8%，净利率18.7%，处于历史较高水平。公司2022年8月12日总市值约64.67亿美元。

4.6. 半导体产能向国内转移，“横向”拓展业务品类系机会所在

半导体行业高景气，产能不断向国内转移。半导体制造产能向大陆转移，自给率低，国产替代空间广阔。海外龙头主要增长在2020年，国内公司自2021年来股价高速增长。

国产公司现状：1）国内大部分公司体量较小，目前处于“专攻”单一品类产品的阶段；2）仅有极少数企业有横向拓展不同产品的布局，但是种类数量较美、日龙头公司有较大差距；3）纵向业务发展的公司多数系从低端领域拓展至半导体领域，与VAT的发展路径相反；

我们认为横向拓展以发挥国产商家后发优势。国内厂商发展路径：1）行业细分赛道众多，就目前的市场竞争格局看，少有哪一零部件单独被一家厂商垄断（光刻机专用除外）；海外厂商的先发优势明显，Know how经验积累十分重要，并且在客户验证阶段的周期为2-3年，造成国内公司很难能够在后发的情况下做成某一产品的绝对龙头；2）同时仅有部分赛道公司可实现纵向拓展；3）因此从长期看，我们认为横向拓展业务品类是国内设备零部件公司发展的必要途径，在增强自身研发实力的同时可通过收购兼并等方式，充分发挥后发优势。

5. 投资建议

随着半导体行业不断向中国大陆转移，国内半导体设备零部件厂商迎来新机遇。我们看好国内厂商在单一赛道夯实产品竞争力后，拓张业务版图，重塑业绩天花板。

5.1. 正帆科技：工艺介质系统先行者，装备+材料+服务打造核心竞争力

正帆科技是一家致力于向高科技产业及先进制造业客户提供关键系统、核心材料和专业服务，实现装备、材料和服务三位一体的一站式综合解决方案的高新技术企业。公司的主要业务是为客户提供核心的工艺流程，设计工艺介质和工艺环境综合解决方案并且提供快速响应、设备维保和系统运营等服务。公司是国内最早进入电子工艺设备领域的本土厂商，同时也是国内较早开展工艺介质供应系统业务的企业之一。

公司深耕自主研发多年，形成六项底层核心技术。公司经过长期的研发与投入形成了六大核心技术，分别为介质供应系统微污染控制、流体系统设计与模拟仿真、生命安全保障与工艺监控、高纯材料合成与分离提纯、材料成分分析与痕量检测、关键工艺材料再生与循环。公司采用综合立体业务模式，以系统和装备类固定资产投资（CAPEX）业务为基础，衍生服务运营类（OPEX）业务。公司不仅在已有的高端制造产业上进行纵向开拓，还逐步向新能源、新材料等其它新兴产业拓展。在电子气体、MRO（维护、维修和运营）、工艺介质物料循环回收等领域均有新的建树。

高壁垒GAS BOX赛道业务增速亮眼，国产替代催化推动第二增长曲线快速上扬。公司围绕客户的需求衍生半导体工艺设备配套供应系统，主要产品为气柜（GAS BOX），GAS BOX是一种在半导体设备侧的模组化气体供应系统，在为设备制程精密供气的同时还需要防止毒气、可燃气的泄漏，具体包含气动阀、阻绝阀、逆止阀、流量调节阀、垫片、镀银螺帽/螺丝等组件，因其有较高的安全气密性、耐蚀性、小型化和精密性要求，故具有较高的技术门槛和行业壁垒。公司的GAS BOX产品目前已较多运用于光伏行业，并正在进行IC行业设备认证，布局子公司鸿舸半导体专注于关键模块业务与配套装备业务能力提升，有力促进关键系统国产化率。

公司营收快速增长，净利率波动中提高。受下游太阳能光伏和平板行业发展提速影响，销售额较上年有很大上升。2021年，公司营业收入达18.37亿元，同比增长65.63%；归属于母公司股东的净利润1.68亿元，同比增长35.53%。2021年毛利率同比下降将近1pct，达到26.17%，净利率下降约2pct，达到9.15%。2014-2021年间，公司净利率在波动中提高，由3.72%增长至9.15%，累计增长5.43pct。2021年研发投入占比4.26%，同比下降0.47pct。公司2022年8月12日总市值约88.88亿元，PE（TTM）=49.71，PB=4.79，我们预计未来业绩增长或将来源于公司服务运营类（OPEX）业务的不断开拓。

风险提示：海内外疫情反复风险、研发成果不及预期、下游需求不及预期、GASBOX产品在IC行业客户认证进度不及预期。

5.2. 江丰电子：靶材国产替代龙头，持续研发促技术突破

江丰电子主营业务为超高纯金属材料的溅射靶材以及半导体产业装备机台的关键零部件的研发、生产和销售。公司主要产品包括铝靶、钛靶、钽靶、钨钛靶、 LCD用碳纤维支撑等，其中铝靶、钛靶、钽靶产品收入占比近64%。公司生产半导体产业装备机台的关键零部件包括金属、陶瓷、树脂等多种材料经复杂工艺加工而成的精密零部件，主要用于半导体芯片以及液晶面板生产线的机台，覆盖了包括PVD、CVD、刻蚀、离子注入以及产业机器人等应用领域。

产业链持续布局，零部件生产开启新增长。公司积极向产业链上游发展、布局，随着募投项目“年产300吨电子级超高纯铝生产项目”和“年产400吨平板显示器用钼溅射靶材坯料产业化项目”的建成，高纯铝、高纯钼等高纯金属材料逐步实现量产，盈利能力有望提升。公司前五大供应商中的关联商采购金额占比从2017年的3.9%提升至2021年的12.43%，自给率不断提升。

公司已在PVD及CMP机台用零部件产业进行战略布局。在集成电路芯片制造过程中，PVD（物理气相沉积）和CMP（化学机械平坦化）是其中非常重要的工艺环节，PVD工艺会用到大量的溅射靶材和消耗性的金属零部件，CMP工艺中会用到大量消耗性材料，使用客户与集成电路靶材客户具有共通性。公司已引进了掌握相关技术及市场的核心人才，后续将继续加深相关产业的战略布局。

公司营收持续增长，研发投入持续加强。2021年随着经济复苏的步伐逐渐加快，行业景气度及市场需求有所提升。2021年，公司实现营收15.94亿元，同比增加36.64%，归属于上市公司股东的净利润1.07亿元，同比下降27.55%。2021年毛利率同比下降近3pct，净利率下降达6pct。2021年研发投入同比增长33.13%，占营业收入的6.16%。公司2022年8月12日总市值约214.88亿元，PE（TTM）=175.43，PB=14.41，我们预计未来业绩增长或将来源于高纯溅射靶材的技术突破。

风险提示：海内外疫情反复风险、PVD及CMP机台用零部件研发成果不及预期、下游需求不及预期、客户认证进度不及预期。

5.3. 北方华创：业绩持续高增长，设备品类加速扩张

北方华创主要业务领域是基础电子产品的研发、生产及销售，主要产品为电子工艺装备和电子元器件。公司电子工艺装备主要包括半导体装备、真空装备和锂电装备，广泛应用于集成电路、半导体照明、功率器件等领域。电子元器件主要包括电阻、电容、晶体器件、微波组件、模块电源等，广泛应用于精密仪器仪表、自动控制等高、精、尖特种行业领域。

公司新产品研发及市场开拓持续获得突破。集成电路先进制程多种产品通过客户验证，成熟制程设备工艺覆盖率快速提升。刻蚀机、PVD、立式炉、清洗机等产品在集成电路、先进封装主流客户实现规模销售，新能源光伏、LED、第三代半导体、新型显示等泛半导体领域，产品竞争力及出货量增加。

研制并生产气体质量流量计，布局半导体关键设备零部件。质量流量计(MFM)/质量流量控制器(MFC)属于一种工业自动化仪表，可以应用到对各种气体（含蒸汽）进行测量或控制，MFM可以精密测量气体的质量流量，MFC除测量外还可以精密控制气体的质量流量。北方华创研制生产的是量热式质量流量计，具有不因温度和压力的波动而失准、重复性好、自动测量控制、工作压力范围宽等特点，可以在真空或高压气路中工作。

公司营收净利均大幅增长，或系市场环境利好所致。全球半导体产业持续增长，中国大陆首次成为全球最大的半导体设备市场。电子元器件业务受下游目标市场需求增长的影响，市场环境较为有利。2021年公司实现营业收入96.83亿元，同比增长59.90%；归属于上市公司股东的净利润10.77亿元，同比增长100.66%。2021年毛利率同比增加近3pct，净利率提高近2pct。2021年期间费用30.53%，同比增加约0.3pct；研发投入占比13.40%，同比增加2.33pct。公司2022年8月12日总市值约1719.70亿元，PE（TTM）=142.01，PB=10.02。

风险提示：海内外疫情反复风险、研发成果不及预期、下游对于MFC等零部件需求不及预期、客户认证进度不及预期。

5.4. 新莱应材：覆盖医药+泛半导体+食品包装，三大业务市场前景广阔

新莱应材是国内唯一一家同时覆盖医药、泛半导体与食品安全三大领域的公司，其中食品收入占比超过50%，泛半导体业务也超过20%。食品领域，即食食品需求的增加有望拉动食品包装需求；半导体领域，国内晶圆厂逐渐进入扩产期，有望带动半导体发展；医药领域，新冠带来的疫苗需求增长继续。

半导体业务持续发力，优质客户群体稳固。受益于半导体国产化趋势，公司半导体板块业务快速增长，营业收入从17年的2.68亿上涨到2021年的5.32亿，2020年受疫情影响，有小幅回落趋势。在半导体领域，公司市场占有率提升，吸引大量优质客户。公司与全球半导体设备龙头AMAT加大合作，在高端真空阀门等产品领域和国内存储器芯片设计与制造厂商长江存储、合肥长鑫进行深入合作，同时与中国最大的半导体设备供应商北方华创在气体管道及气体控制元件方面展开国产替代全面合作。

公司业绩呈上升趋势，疫情影响有所消减。公司2021合计营收20.54亿元，同比增长约55.28%，归母净利润1.70亿元，同比增长约105.66%，业绩总体呈上升趋势，毛利率一直处在平稳的区间（20%-30%），净利率呈上升趋势。公司2022年8月12日总市值约175.29亿元，PE（TTM）=80.57，PB=13.38。

风险提示：海内外疫情反复风险、研发成果不及预期、下游长江存储、合肥长鑫等客户对公司产品需求不及预期、客户认证进度不及预期。

5.5. 华亚智能：下游订单高需求，公司收入利润规模继续高增长

华亚智能是华东地区的精密钣金制造商之一，主要涉及轨道交通、半导体设备、精密仪器、高端医疗器械、智能电网、新能源等行业的生产制造和组装。公司主营业务为根据订单需求设计各类精密金属部件产品，采用精密钣金、机械加工、精密焊接及表面处理等工艺，为客户提供定制化的一站式工业级精密金属的制造服务。公司利用在精密金属零部件加工领域形成的技术和工艺优势以及小批量多品种的柔性加工能力，为半导体设备、轨道交通、医疗器械、电力设备及机械设备等高端制造领域供应各类精密零部件，产品已经出口至美国、欧洲、新加坡等地，试制新产品正在向航空工业、智能产业延伸，2017年公司被美国应用材料(AMAT)公司认证为合格供应商。

公司营收持续增长，净利率大幅提升。2021年，公司营业收入达5.30亿元，同比增长 43.93%；归属于母公司股东的净利润1.11亿元，同比增长54.67%。公司收入和规模和业绩的高速增长主要得益于公司优质客户数量及产品种类的快速提升，尤其是半导体设备领域需求的快速增长。2021年毛利率同比下降0.43pct，净利率大幅提高1.48pct。2021年研发投入1673.52万元，同比增加18.28%。公司2022年8月12日总市值约80.82亿元，PE（TTM）=67.80，PB=9.37，我们预计公司未来业绩有望持续受益于下游晶圆厂扩产及零部件国产替代。

风险提示：海内外疫情反复风险、研发成果不及预期、下游需求不及预期、试制新产品向航空工业、智能产业延伸进展不及预期。

5.6. 神工股份：轻掺硅片厚积薄发，电极材料国产替代加速

神工股份是国内领先的半导体级单晶硅材料供应商。公司核心产品为大尺寸高纯度半导体级单晶硅材料，目前主要应用于加工制成半导体级单晶硅部件，是晶圆制造刻蚀环节所必需的核心耗材。公司主要业务板块包括“大直径单晶硅材料”，“硅零部件”和“半导体大尺寸硅片”，核心产品过去几年成功打入国际先进半导体材料供应链体系，并已逐步替代国外同类产品。

公司掌握包含8英寸半导体级硅片在内的晶体生长及硅片表面精密加工等多项核心技术。2020年，公司 20 英寸以上超大直径单晶硅产品研发取得技术突破，已成功使用 28 英寸热场成功拉制直径达到 550mm（22 英寸）的晶体，内在品质符合下游日本客户的标准，进一步巩固了公司在大直径单晶硅材料领域的技术地位。公司8英寸轻掺低缺陷超高阻硅片项目进展顺利，产品已进入客户认证流程。

公司营收稳定增长，净利率大幅提升。2021年，公司营业收入达4.74亿元，同比增长 146.69%；归属于母公司股东的净利润2.18亿元，同比增长 117.84%。2021年毛利率同比下降约1pct，净利率下降约6pct。2021年期间费用13.51%，同比下滑近3pct，研发投入占比7.38%，同比下降近2pct。公司2022年8月12日总市值约93.58亿元，PE（TTM）=40.88，PB=6.69，我们预计未来业绩增长或将来源于公司8英寸硅片国产替代的加速。

风险提示：海内外疫情反复风险、研发成果不及预期、下游需求不及预期、8英寸轻掺低缺陷超高阻硅片的客户认证进度不及预期。

5.7. 英杰电气：业绩稳定上升，新增订单全行业增长

英杰电气是国内综合性工业电源研发及制造领域具有较强实力和竞争力的企业之一。主要专注于电力电子技术在工业各领域的应用，主要从事功率控制系统装置为代表的工业自动化控制产品的研发、生产、销售，为国内光伏、LED新光源、核电、玻璃玻纤、冶金、石油化工等多个行业提供优良功率控制和其他自动化控制设备。主要产品有调功器、匹配器、调压器、测试电源、射频发生器、可编程直流电源。

公司新增订单全行业快速增加。2021年公司来自于半导体等电子材料行业的销售收入0.71亿元,占营业收入的比重为10.71%，同比上升74.66%。2021年公司新增订单呈现全行业全面增长的局面，其中以光伏、半导体等电子材料、充电桩行业最为显著，其中来自于光伏行业的新增订单为9.8亿元，同比上升224.50%，来自于半导体等电子材料行业的新增订单为2.08亿元，同比上升 299.96%。来自于充电桩行业的新增订单为0.68亿元，同比上升553.45%。

研制并试制射频电源，进一步满足半导体行业需求。目前公司研制的射频电源已小批量试制，交予客户测试。该产品可广泛应用于半导体刻蚀、半导体离子注入、太阳能电池 PECVD、真空镀膜等行业领域，在半导体、镀膜等领域替代进口电源。公司大功率可编程直流电源目前完成试制和通过CE认证、TUV认证，已有小批量销售和试用。

公司营收和净利率波动中稳定增长。2021年，公司营业收入达6.60亿元，同比增长56.87%；归属于母公司股东的净利润1.57亿元，同比增长50.60%。2021年毛利率同比增加0.55pct，净利率下降约1pct。研发投入达0.51亿元，同比增加50.63，占营业总收入7.78%。公司2022年8月16日总市值约118.10亿元，PE（TTM）=64.53，PB=9.47。

风险提示：海内外疫情反复风险、研发成果不及预期、下游需求不及预期、射频电源在客户端测试进度不及预期。

5.8. 富创精密：拥有多种技术工艺和先进技术，业绩呈上涨趋势

富创精密是国内半导体设备精密零部件的领军企业，也是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。通过多年研发和积累，公司具备了金属零部件精密制造技术为核心的制造能力和研发及人才储备。通过自研和承接专项，公司实现了半导体设备部分精密零部件国产化的自主可控，攻克了零部件精密制造的特种工艺，形成了国产半导体设备的保障能力。

公司具有多种技术工艺和突出的技术水平，是全球行业内少有的多品类产品提供商之一。公司制造能力强，可实现产品较高的工艺水平；拥有较为齐备的表面处理特种工艺；具备电子束焊接等多种焊接技术，能为客户提供有效的焊接方案；组装能力强，客户覆盖国内外半导体厂商，产品性能及质量得到客户认同。公司可提供工艺零部件、结构零部件等多品类产品，相关产品广泛应用于前道先进制程设备。客户向公司进行多品类产品采购，实现一对多产品质量管控，降低采购时间成本和管理成本，同时有利于提升产品效能。

公司采用离散型智能制造模式。公司开创了集成电路领域智能制造的新模式，不但降低了对人工经验的依赖，同时实现了柔性化生产与工艺的整合，利用数字化仿真、大数据分析等智能化手段，保证了产品质量的稳定与生产效率的提高。

公司业绩呈上涨趋势，营收净利润大幅增长。公司2021年营收为8.43亿元，净利1.21亿，扣非后净利为0.75亿元，毛利率为32.04%；营收增长率达8.43%，归母净利润增长率达1.26%。2021年研发投入达0.74亿元，占营业总收入8.8%。

风险提示：海内外疫情反复风险、研发成果不及预期、下游对于公司工艺零部件、结构零部件等产品的需求不及预期、客户认证进度不及预期。

6. 风险提示

海内外疫情反复风险：海内外疫情反复，影响上下游供应链，导致行业业绩发展不及预期。

研发成果不及预期：相关企业研发进度不及预期，使国内企业对海外供应链的国产替代进度不及预期。

下游需求不及预期：下游晶圆厂或半导体设备厂对半导体设备零部件的需求不及预期。

客户认证进度不及预期：设备零部件种类繁多，目前国外产商占据主要市场份额，国产制造商获得新客户认证的难度较高，认证进度可能不及预期。

注：文中报告节选自天风证券研究所已公开发布研究报告，具体报告内容及相关风险提示等详见完整版报告。

证券研究报告《半导体设备零部件：小而美子赛道组成数百亿美元市场，国产化尚有大空间》

对外发布时间 2022年8月19日

本报告分析师：

天风电子潘暕团队成员介绍潘暕天风证券电子行业首席分析师。复旦大学微电子与固体电子学硕士，复旦大学微电子学本科，国际经济与贸易第二专业，曾就职于安信证券任分析师，对电子行业有全面深刻见解，挖掘了众多高成长企业，与产业深入合作帮助企业发展，善于推荐科技创新大周期的投资机会。2019、2020年新财富最佳分析师分别获得第四名、第二名，2021年新财富入围，2015-2016年新财富第一团队成员，2017年新财富第二团队成员。2015-2016年水晶球第一团队成员，2017、2019年水晶球分别获得第二名、第五名。2015-2016年金牛奖第一团队成员，2017、2020、2021年金牛奖分别获得第二名、第四名、第二名。2018年Wind金牌分析师第一名，2020-2021年Wind金牌分析师第二名。2019-2021年金麒麟最佳分析师分别获得第三名、第四名、第六名。2020年上海证券报最佳分析师第三名，2021年21世纪金牌分析师第五名，Choice 2021年度电子行业最佳分析师第三名。温玉章分析师。计算机及工业工程专业背景，12年以上苹果产品(iPod & iPhone)研发和新产品导入工作经验，对电子，计算机，互联网产业链的发展趋势有较深的认知和理解。骆奕扬分析师。南京大学物理系本科，香港科技大学集成电路设计硕士。3年电子行业研究经验，覆盖半导体制造、半导体装备材料及部分半导体设计。程如莹分析师。北京大学计算机专业硕士，覆盖半导体IC设计、MCU/SOC/IGBT/模拟芯片行业&公司覆盖报告。许俊峰分析师。伯明翰大学工商管理学硕士，覆盖安防、LED、汽车连接器及智能座舱等。俞文静分析师。香港中文大学金融理学硕士，覆盖消费电子及 PCB 产业链。李泓依助理研究员。美国埃默里大学会计学及金融学学士、会计学硕士，覆盖半导体封装测试及部分材料装备，已撰写包含汽车芯片、第三代半导体、虚拟显示等多篇行业深度报告。吴雨助理研究员。利物浦大学金融计算学士，昆士兰大学商务硕士，覆盖部分被动元器件、面板及半导体材料等领域。冯浩凡助理研究员。新南威尔士大学信息系统学士，金融学硕士，覆盖部分汽车电子领域。包恒星助理研究员。南京大学材料物理本科、材料物理与化学硕士，覆盖消费电子领域。