投资者提问:CMP抛光垫是集成电路制造过程中的关键工艺材料,用于在集成电路...

投资者提问:CMP抛光垫是集成电路制造过程中的关键工艺材料,用于在集成电路...
2022年06月20日 15:32 问董秘

投资者提问:

CMP抛光垫是集成电路制造过程中的关键工艺材料,用于在集成电路前段制造过程中通过化学物理作用打磨晶圆,保证晶圆表面平坦,是我国集成电路产业被国外卡脖子的关键材料,请问公司作为抛光领域的专家,是否有在研发半导体用的CMP抛光垫?

董秘回答(宇环数控SZ002903):

CMP抛光垫又称CMP研磨垫,是CPM抛光机上的重要部件,属于抛光耗材。我公司作为数控磨削设备的专业提供商,属于设备供应商,我公司拥有应用于半导体材料加工的CMP抛光机设备。

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