◎记者 李兴彩 ○编辑 邱江
9月3日午间，中芯国际公告，公司将成立合资公司投资88.7亿美元（约合人民币570亿元），建设月产能10万片的12英寸晶圆厂，聚焦于28纳米及以上技术节点的晶圆代工服务等。
有业内人士表示，中芯国际扩产将有力带动半导体设备、材料产业快速成长。晶圆厂扩产，近八成资本开支将用到购买设备上，这将给国产半导体设备、材料带来新的增量市场，已经具有成熟产品的上市公司将迎来强劲增长机遇。
资本开支高达1200亿元
据中芯国际披露，中芯国际将与上海自由贸易试验区临港新片区管委会等成立合资公司，注册资本金拟为55亿美元，其中公司拟出资占比不低于51%，上海市人民政府指定的投资主体拟出资占比不超过25%。
自2020年起，中芯国际接连披露了多个扩产项目。2020年12月5日，中芯国际披露，公司与大基金二期、亦庄国投等合计出资50亿美元在北京设立合资公司，生产12英寸集成电路晶圆等，总投资额为76亿美元。今年3月18日，中芯国际再度披露扩产项目，公司与深圳市政府等合计投资23.5亿美元建立12英寸晶圆厂。
据此，自2020年至今，中芯国际在扩产方面的投资合计高达188.2亿美元（折合人民币约1200亿元）。
此前，中芯国际在第二季度电话会议上强调，维持今年8英寸月产能扩产4.5万片、12英寸月产能扩产1万片的计划不变，设备到场主要在下半年，出货体现到今年第四季度或明年第一季度。公司在半年报中披露，2021年的资本开支约为280.9亿元，其中大部分用于成熟工艺的扩产，小部分用于先进工艺、北京新合资项目土建及其他。
业内人士认为，中芯国际扩产对其自身及中国半导体产业的意义重大。在全球半导体需求持续增长、产能紧张的大背景下，中芯国际积极扩产，有助于其自身市场份额、盈利能力的提升，并有望大力带动国产半导体设备、材料产业的发展。
值得注意的是，9月3日晚间，中芯国际又披露了“换帅”公告，因个人身体原因，公司董事长兼执行董事周子学辞任董事长及董事会提名委员会主席的职务，即日生效。公司执行董事、首席财务官及公司秘书高永岗，获委任为公司代理董事长，履行董事长职责，并担任董事会提名委员会主席，即日生效。
高永岗为中芯国际“老将”，拥有逾30年企业管理经验，曾担任电信科学技术研究院（大唐电信科技产业集团）总会计师、大唐电信集团财务有限公司董事长等职务。此外，高永岗还兼任长电科技董事、奕瑞科技独立董事。
利好半导体设备、材料企业
“相比原来产线，国产设备、材料切入新建产线更加容易，也可以获得更多的份额。”业内人士表示，中芯国际扩产28纳米等成熟制程，已经具有成熟产品的国产半导体设备公司以及材料公司将迎来强劲增长机遇。
相关资料显示，晶圆厂扩产，近八成资本开支将用到购买设备上。一家10万片月产能的成熟制程晶圆厂，其设备采购额高达70亿美元（约450亿元）。目前，多家国产半导体设备商已经可以提供用于28纳米及以上制程的设备。
作为国产半导体设备龙头，中微公司、北方华创可提供刻蚀机。其中，中微公司在CCP电容性高能等离子体刻蚀机和ICP电感性低能等离子体刻蚀机两种设备上，都开发了单反应台反应器、双反应台反应器。北方华创在半年报中披露，公司刻蚀机、PVD、CVD、立式炉等设备新产品市场导入节奏加快。
万业企业可提供低能大束流、低能大束流重金属、低能大束流超低温、高能离子注入机等多种型号的离子注入机设备，公司已经取得7台订单。至纯科技在半年报中披露，上半年，公司湿法设备新增订单4.3亿元（湿法设备中单片设备新增订单2亿元），达到去年全年湿法订单的85%。
此外，芯源微可提供涂胶显影设备，精测电子的前道晶圆检测复查设备已经进入客户验证流程。
中芯国际新建产线投产后，将大幅拉动国产半导体材料的出货量。
“月产能10万片的晶圆厂，每个月双氧水用量约1000吨、硫酸约1200吨。”对于中芯国际扩产，晶瑞电材董秘陈万鹏告诉记者，这对国产半导体材料是大利好，晶瑞电材的双氧水、硫酸将供不应求。
此外，晶瑞电材的光刻胶也将迎来更大市场。目前，晶瑞电材的紫外负型光刻胶、宽谱正胶及部分g线、i线光刻胶已向中芯国际等企业供货；高端KrF（248纳米）光刻胶已完成中试进入客户测试阶段；ArF（193纳米）光刻胶研发已启动。
彤程新材也将获得更高的增长。今年上半年，彤程新材新增的10只光刻胶产品获得长江存储、中芯北方等用户订单，并趁着信越缺货之际迅速完成了KrF光刻胶产品放量。公司旗下北京科华上半年光刻胶业务实现营收5647.83万元，同比增长46.74%，其中KrF光刻胶产品营收同比大增94.51%。
大硅片占到晶圆厂耗材成本的比例接近37%。沪硅产业是国内最先进的12英寸大硅片厂商，已覆盖中芯国际、长江存储等国内主流的晶圆厂、存储厂。公司目前月产能已达到25万片，并提出年底实现30万片/月的产能目标。立昂微也在积极建设12英寸硅片项目。在业内人士看来，硅片厂月产能达到30万片，就开始具有规模效应。
此外，安集科技是国内CMP抛光液龙头公司。鼎龙股份的CMP抛光垫7月的产能已突破1万片，其中12英寸占比超过80%。
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