证券时报e公司讯，有投资者在互动平台向英唐智控提问，公司五台光刻机是否正常运作，可以生产哪些系列芯片？英唐智控回复称，该设备目前正常运作，主要用于公司全资子公司日本英唐微关于光电转换和图像处理的模拟IC和数字IC产品的研发生产，最小可支持0.35μm工艺。
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