【方正机械】行业专题报告：逻辑验证，长存规模化招标启动，国产替代加速推进 ——方正机械半导体设备专题研究（五）|方正_新浪财经

来源：方正证券（维权）研究

核心观点：2019年11月20日我们发布半导体设备行业深度报告《从长江存储招标看本土半导体设备龙头投资机会》指出：包括长江存储在内大陆存储器/晶圆厂将进入设备采购的高峰期，本土半导体设备企业进入获取订单的关键时期。2019年11月中旬以来，长江存储陆续启动31-38批次招标，从开标结果看，国产核心半导体设备中标占比持续提升，逻辑得到进一步验证，国产半导体设备投资机会值得关注。

※ 长江存储陆续启动规模化招标，进入设备采购高峰期得到验证。根据招标网，截止2020年1月15日，我们梳理发现：长江存储陆续启动31-38批次招标，核心半导体设备合计招标数量351台（并未完全开标），其中光刻机5台、刻蚀设备40台、薄膜沉积设备67台、氧化/退火/立式合金炉管设备21台、清洗设备11台、CMP14台、过程控制装备55台、探针台44台、测试机24台。长江存储为了2020年底形成6万片/月产能，2021年实现10万片/月产能，已经进入设备采购的高峰期，为本土半导体设备企业加速获取订单提供良好机遇。

※ 梳理长江存储31-38批次设备开标情况，国产设备中标占比进一步提升。①31-38批次，本土企业已经实现中标的设备中，PVD、CMP、刻蚀设备、氧化/退火/立式炉管设备、清洗设备、过程控制设备、CVD国产化率分别达到了60%、42.86%、34.29%、33.33%、33.33%、10%和9.09%，相较前30批次国产化率呈现进一步上升趋势。②中微公司（2020年中标9台刻蚀设备）和北方华创（2020年中标3硅槽刻蚀设备、3台PVD、6台氧化/退火炉/立式炉管设备）现在中标的订单金额已逐渐迫近2019年全年的订单量，预计2020年订单总额有望大幅提升。

投资建议：包括长江存储在内的大陆产线进入设备采购高峰期，大基金二期注册成立，国产半导体设备投资机会值得关注，建议重点关注北方华创，关注中微公司。

风险提示

半导体行业景气度下行，大陆存储器/晶圆厂设备采购不及预期，本土半导体设备厂商新品验证不及预期，本土半导体设备厂商订单不及预期

1 长江存储陆续启动规模化招标，进入设备采购高峰期得到验证

我们在2019年11月20日发布的《从长江存储招标看本土半导体设备龙头投资机会》报告中指出：2019年底长江存储产能为2万片/月，为了在2020年底形成6万片/月产能，2021年一期完成，达到10万片/月的产能，长江存储将进入设备采购的高峰期。

逻辑得到验证，长江存储启动规模化招标，已经进入设备采购的高峰期。2019年11月12日以来，长江存储陆续启动31-38批次招标。根据招标网，截止2020年1月15日，31-38批次招标核心设备数量合计351台（并未完全开标），其中光刻机5台、刻蚀设备40台、薄膜沉积设备67台、氧化/退火/立式合计炉管设备21台、清洗设备11台、CMP14台、过程控制装备55台、探针台44台、测试机24台，我们认为长江存储规模化招标的开启，为本土半导体设备企业加速获取订单提供绝佳机遇。

2 长存项目半导体设备国产化率进一步提升，龙头企业加速获取订单

相比前30批次，长江存储31-38批次已经开标的设备中，国产设备中标占比有明显提升。在31-38批次开标的设备中，PVD、CMP、刻蚀设备、氧化/退火/立式炉管设备、清洗设备、过程控制设备、CVD本土企业分别中标3台、6台、12台、6台、3台、2台、2台；对应国产化率分别达到了60%、42.86%、34.29%、33.33%、33.33%、10%和9.09%，除氧化/退火/立式炉管设备、测试机中标占比较前30批次国产化率有所下降外（实际上样本设备开标数量较小，结果会产生一定偏差），其余核心半导体设备国产化率进一步提升，不难发现：国产半导体设备在长江存储项目中的进口替代加速推进。

当然我们也注意到，在光刻机、探针台、ALD等设备领域，国产厂商仍然尚未实现中标，半导体设备进口替代依然任重道远。

以北方华创和中微公司设备中标情况为例，本土半导体设备企业加速获取订单得到进一步印证。①2019年中微公司刻蚀机在长江存储中标13台，2020年1月2日招标网数据就显示中微公司实现9台刻蚀设备中标；②北方华创进入2020年已经中标3硅槽刻蚀设备、3台PVD（开标了5台）、6台氧化/退火炉/立式炉管设备，2019年合计订单才3-4个亿。以长江存储产能爬坡节奏推算，中微公司和北方华创2020年在长江存存储获取的订单总额有望大幅提升，中长期看，我们认为越来越多国产设备经过前期验证，进入长江存储产线，对于后续加速获取订单以及进入大陆其他产线具有明显的示范作用。