投资者提问:KrF(248nm深紫外)光刻胶产品大概什么时候可以实现批量出...

投资者提问:KrF(248nm深紫外)光刻胶产品大概什么时候可以实现批量出...
2022年08月19日 15:59 问董秘

投资者提问:

KrF(248nm深紫外)光刻胶产品大概什么时候可以实现批量出货呢?

董秘回答(晶瑞电材SZ300655):

作为我国供应半导体光刻胶出货量最大的本土企业之一,公司KrF(248nm深紫外)光刻胶产品分辨率达到了0.25~0.13µm的技术要求,已通过部分重要客户测试,KrF光刻胶生产及测试线已经基本建成,设备正在安装调试中,预计今年内批量供货。

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