投资者提问:您好,请问贵公司的真空泵产品可应用在光刻领域吗?贵公司目前主要...

投资者提问:您好,请问贵公司的真空泵产品可应用在光刻领域吗?贵公司目前主要...
2019年09月26日 09:05 问董秘

投资者提问:

您好,请问贵公司的真空泵产品可应用在光刻领域吗?贵公司目前主要与国内哪些半导体企业进行了合作?

董秘回答(汉钟精机SZ002158):

您好!公司的真空产品可用于半导体产业,目前主要用于半导体前端制程较多,如单晶硅制造工艺中的拉晶制程;晶圆加工工艺中的薄膜淀积、光刻、刻蚀、测试制程;封装测试工艺中的模塑制程。合作客户属于商业信息,不方便披露,谢谢!

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