光刻气体是光刻工艺所需重要材料，主要成分为氖气等气体产品光刻气体作用：光刻过程中需要充入混合气，在受到高压激发后，混合气会形成等离子体，固定波长的光线在经过聚合、滤波等过程后形成光刻机光源。
光刻气体组分：氖气为用量占比最大的原料。主要的混合气有氩/氟/氖混合气、氪/氖混合气、氩/氖混合气、氩/氙/氖混合气等。
光刻气体价格位于近三年底部，下游集成电路需求有望企稳回升光刻气体当前价格处于2020 年以来的底部。根据特气头条数据，2023 年9 月14日，氪气出厂价为675 元/立方，氙气出厂价为6.3 万元/立方，氖气出厂价为220元/立方。
光刻气体需求有望企稳回升，构成对价格的支撑。2023 年7 月，全球半导体销售额同比下降11.8%，跌幅持续收窄。在自主可控、国产替代要求下，预计十四五期间我国集成电路产量仍将维持较快增长，看好电子特气的成长机会。
华特气体、凯美特气是国内已经取得ASML 认证的两家光刻气供应商根据公告，华特气体光刻气通过了ASML 和GIGAPHOTON 的认证。公司已实现对国内8 寸以上集成电路制造厂商超过90%的客户覆盖率。
根据公告，2023 年2 月，凯美特气光刻气产品通过Cymer 公司的合格供应商认证，有利于提高在光刻气领域内的认可度和知名度。
持续看好工业气体行业投资机会，海外可比公司达万亿元人民币市值1）中国工业气体行业近2000 亿元市场，过去5 年复合增速11%，有望诞生大市值公司。
2）海外可比公司林德、法液空、空气化工产品对应的市值折合人民币达数千亿乃至上万亿市值。
3）国产替代提速，龙头份额提升。在2021 年第三方现场制气项目新增订单中，外资企业的份额降低至25%，而内资企业占比提升至75%。
4）国内电子特气市场以外资为主导，2018 年外资企业在国内电子特气占据85%市场份额，国产替代趋势明显、潜力巨大。
投资建议：光刻气重点推荐华特气体、凯美特气等持续推荐中国工业气体龙头杭氧股份、特种气体先行者华特气体、光刻气供应商凯美特气、民营气体领军企业侨源股份、电子特气新星和远气体、民族工业气体领军企业陕鼓动力（维权）、空分设备民企龙头福斯达，持续看好中船特气、广钢气体、金宏气体、雅克科技、昊华科技、中巨芯等工业气体/电子特气公司。
杭氧股份：工业气体龙头，国产替代、产品升级、治理改善、资产整合? 华特气体：电子特气先行者；拓品类、切合成，盈利能力提升? 凯美特气：电子特气新星，光刻气体取得ASML 认证? 侨源股份：民营气体领军企业，受益光伏锂电等新能源产业崛起? 和远气体：华中区域民营气体龙头，加码电子特气业绩有望腾飞? 陕鼓动力：民族工业气体领军企业，压缩空气储能打造新增长引擎? 福斯达：空分设备民企龙头，受益“一带一路”业绩驶入快车道? 风险提示：
1、下游需求不及预期；2、行业竞争加剧风险；3、零售气价大幅波动风险。
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