华海清科申请晶圆承载杯专利，能及时发现托盘不再水平并进行调整，减少了晶圆Load/Unload fail的情况|晶圆_新浪财经

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金融界2024年6月18日消息，天眼查知识产权信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“晶圆承载杯、晶圆承载杯的水平检测系统及方法“，公开号CN202410519806.5，申请日期为2024年4月。

专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆承载杯，包括：杯体，用于承载抛光头；托盘，设置在杯体内，并通过升降组件与杯体连接，用于承载晶圆；其中，托盘上包括至少两个位置传感器，用于判断托盘是否维持水平状态，至少两个位置传感器不在托盘的同一直径上。本实施例提供的方案，可以通过至少两个位置传感器实现对托盘水平状态维持情况的检测，成本低；且能够及时发现托盘不再水平，并及时进行调整，减少了晶圆Load/Unload fail的情况。

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