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金融界2024年6月18日消息,天眼查知识产权信息显示,合肥芯碁微电子装备股份有限公司取得一项名为“一种用于LDI直写曝光机的自适应分区吸盘“,授权公告号CN221149145U,申请日期为2023年10月。
专利摘要显示,本实用新型涉及LDI直写曝光机领域,具体涉及一种用于LDI直写曝光机的自适应分区吸盘,包括吸盘本体、吸盘底板和吸盘垫组成。吸盘本体设置有若干吸附孔,每个吸附孔内都装有逻辑阀。吸盘本体与吸盘底板之间形成一个吸附真空腔。抽真空时,未被PCB板覆盖的逻辑阀能自动闭合,形成密闭通道;被PCB板覆盖的逻辑阀能使吸附孔内的压力持续低于吸盘本体外,利用这种压力差来吸附PCB板。该吸盘使任意尺寸的PCB板都能在任意区域被吸附和定位,无需专门定制,大大减少了工作量,实现了产品化。同时,由于无需针对各种非常规尺寸进行定制设计,因此显著降低了设计、加工和集成成本。其高度自适应的特性,使得量产化轻而易举,进一步降低了生产成本。
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