微导纳米申请一种支撑组件及晶圆加工装置专利，能够避免因电机无回零功能，导致晶圆加热器经旋转后针状件无法精准落位|纳米_新浪财经

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金融界2024年6月18日消息，天眼查知识产权信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种支撑组件及晶圆加工装置“，公开号CN202410304090.7，申请日期为2024年3月。

专利摘要显示，本发明提供的一种支撑组件及晶圆加工装置，支撑组件用于晶圆加热器，晶圆加热器上设有若干呈环状分布的通孔，通孔内适于穿设针状件，支撑组件包括支撑件，呈环状，设于晶圆加热器一侧，支撑件与针状件位置对应，以支撑设于通孔内针状件的底端。通过在晶圆加热器一侧设置呈环状的支撑件，支撑件与针状件位置对应，在圆加热器经旋转后针状件下落时，即使因特殊原因晶圆加热器偏离零位，晶圆加热器在任意位置下降时针状件也能落在支撑环上表面上环状的支撑件上表面能够始终保持对针状件下端的支撑，能够避免因电机无回零功能，导致晶圆加热器经旋转后针状件无法精准落位，针状件很容易绕过针状件支撑结构而有悬空风险，影响设备长期稳定使用。

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