中船特气申请电子级二氯氢硅的合成及纯化方法专利,专利制备出的二氯氢硅产品纯度高,可以满足集成电路使用

中船特气申请电子级二氯氢硅的合成及纯化方法专利,专利制备出的二氯氢硅产品纯度高,可以满足集成电路使用
2024年06月18日 07:05 金融界网站

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金融界2024年6月18日消息,天眼查知识产权信息显示,中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司申请一项名为“一种电子级二氯氢硅的合成及纯化方法”,公开号CN202410261045.8,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本申请涉及一种电子级二氯氢硅的合成及纯化方法,具体包括以下步骤,催化剂除水,去除铁基碱性树脂催化剂中的水分;催化反应,三氯氢硅作为原料,从装有铁基碱性树脂催化剂的RD塔反应段上部进入,原料在反应段进行催化转化,得到二氯氢硅反应产品;初分离,RD塔塔顶采出二氯氢硅,塔釜采出四氯化硅;精馏提纯,RD塔塔顶采出后的二氯氢硅进行轻、重组分杂质脱除,得到二氯氢硅精品,通过精品罐收集后进行充装得到电子级二氯氢硅。在本申请提出的工艺参数条件下,RD塔、精馏塔内的反应和分离效果耦合性能良好;本申请提高了转化率与选择性,降低过程能耗,节省设备投资;本申请制备出的二氯氢硅产品纯度高,可以满足集成电路使用。

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