华海清科取得化学机械抛光系统专利，专利技术能实现模块化排列并清洁抛光的晶圆|金融界_新浪财经

转自：金融界

本文源自:金融界

金融界2024年6月18日消息，天眼查知识产权信息显示，华海清科股份有限公司取得一项名为“一种化学机械抛光系统“的专利，授权公告号CN221135467U，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种化学机械抛光系统，所述化学机械抛光系统包括前置单元、抛光单元和清洗单元，三者模块化排列设置；所述抛光单元包括抛光盘和装卸部，所述装卸部设置于抛光盘的侧方，所述装卸部的外周侧配置有抛光刷洗组件，以清洁完成抛光的晶圆；所述抛光刷洗组件包括第一摆臂，第一摆臂的端部配置有第一刷头和第二刷头，其分别设置于第一摆臂的上侧和下侧，以分别预清洁晶圆的正面和背面。

MACD金叉信号形成，这些股涨势不错！