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金融界2024年6月18日消息,天眼查知识产权信息显示,北京凯德石英股份有限公司取得一项名为“一种工艺管“,授权公告号CN118007107B,申请日期为2024年4月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体加工技术领域,提供了一种工艺管,包括内管、外管和螺旋件,内管的一端密封设置并设有两侧贯通的流道孔;外管固定设置于内管外周侧,外管靠近流道孔的一端密封设置,外管的另一端通过密封结构与内管相连接;内管和外管之间形成有气体流道,螺旋件设置于气体流道内部,且螺旋件沿内管的轴线方向螺旋延伸设置;内管外侧壁分别固定有进气法兰和排气法兰,进气法兰与气体流道相连通,排气法兰与内管内部相连通。基于此,可以提高各种气体混合之后的均匀性,以利于形成厚度均匀的镀层或薄膜,进而提高所制得半导体芯片的质量。
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