清溢光电取得IC掩膜版CD测量机专利，设备最小可测量线缝宽度为0.4um|专利_新浪财经

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金融界2024年6月18日消息，天眼查知识产权信息显示，深圳清溢光电股份有限公司取得一项名为“一种IC掩膜版CD测量机“，授权公告号CN221149137U，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种IC掩膜版CD测量机，包括固定底架、花岗岩基座、XY轴精密中空平台、电气控制系统、透射光源系统、Z轴支架、Z轴精密模组、显微成像系统、主动式隔振机构。本实用新型所提出的一种IC掩膜版CD测量机，实现了对于IC掩膜版的测量，设备最小可测量线缝宽度为0.4um,测量精度与重复精度可达5nm，可兼容多尺寸掩膜版，整机外形尺寸较小，可节省无尘室的宝贵空间。

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