安集科技申请化学机械抛光液及其用途专利，能够提高产品的良率|安集科技_新浪财经

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金融界2024年6月18日消息，天眼查知识产权信息显示，安集微电子科技（上海）股份有限公司申请一项名为“一种化学机械抛光液及其用途“，公开号CN202211595036.X，申请日期为2022年12月。

专利摘要显示，本发明提供了一种化学机械抛光液及其用途，其中所述化学机械抛光液包括：氧化铈研磨颗粒，有机酸以及多糖。本发明中的化学机械抛光液具有较好的稳定性，便于实际使用时进行保存以及后续的使用；同时，在用于抛光图形晶圆时，能够快速去除台阶，达到平坦化的效果，同时能够自动停止抛光当图形晶圆的台阶磨平以后以免过抛，从而提高产品的良率。

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