华海清科申请一种用于化学机械抛光的承载头和抛光装备专利，以改变经由直立部传递载荷的作用范围|化学_新浪财经

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金融界2024年6月3日消息，天眼查知识产权信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种用于化学机械抛光的承载头和抛光装备”的专利，公开号CN202311843316.2，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于化学机械抛光的承载头和抛光装备，所述承载头包括：承载盘；弹性膜，设置于承载盘的下方；所述弹性膜包括底板部和直立部，所述底板部为盘状结构，以吸合待抛光晶圆，所述直立部沿底板部的外缘竖直向上延伸；还包括夹紧装置，其设置于所述直立部的内侧和外侧；所述夹紧装置能够调节弹性膜的周向尺寸，以改变经由直立部传递载荷的作用范围。

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