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金融界2024年6月3日消息,据国家知识产权局公告,西陇科学(维权)股份有限公司申请一项名为“一种减少剥离水洗后铜腐蚀和蚀刻结晶的铜蚀刻液组合物“的专利,公开号CN202410259017.2,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本发明提供了一种减少剥离水洗后铜腐蚀和蚀刻结晶的铜蚀刻液组合物,涉及铜蚀刻液组合物。本发明是利用双氧水、硫酸、乙二胺四亚甲基膦酸、丙酮肟、乙醇酸、磷酸、L‑苹果酸、1,2,3,4,5‑五羟基己酸、聚乙烯醇和纯水配制而成。在铜被蚀刻过程中,本发明铜蚀刻液组合物中的Cu2+会与O2‑反应生成黑色的CuO,当溶液达到饱和状态,会产生黑色的析出物,同时铜蚀刻液药水在浓缩后,会产生结晶。本发明的铜蚀刻液组合物具有较强的螯合能力,可以降低溶液中Cu2+含量,减少CuO产生;乙二胺四亚甲基膦酸作为螯合剂能很好的螯合溶液中的Cu2+含量;丙酮肟能很好的除去游离氧。本发明的铜蚀刻液组合物能够减少结晶堆积,避免堵塞管道。
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