11月13日早盘，三大股指低开震荡，盘面上热门板块半导体震荡调整，个股方面，有研新材强势涨停，芯源微、拓荆科技涨逾5%，上海新阳（维权）、海光信息、沪硅产业涨超1%。
ETF方面，聚焦上游设备、材料的半导体设备ETF（561980）低开震荡高走，截至发文跌幅1.29%，成交额超6700万元；值得注意的是，该ETF早盘下行区间持续溢价交易，或有资金逢低布局。资金数据显示，该ETF近三日持续获大额资金净流入，区间累计净买额近1.8亿元。
招商证券最新观点认为，近日市场关注台积电或对国内AI/GPU客户供应7nm及以下芯片的相关限制，对于自主可控的关注度再度提升，结合国内半导体产业链各环节的国产化情况，或可关注自主可控需求相对迫切叠加AI需求提升的制造/设备/封测/材料环节和先进制程芯片公司，以及EDA/IP等核心环节。
光大证券（维权）表示，国内集成电路领域自主可控、国产替代的重要性再度凸显，集成电路相关材料、设备、工艺等领域的国产化进程或将进一步加快，进而推动集成电路领域相关龙头企业投资价值的提升。
半导体设备ETF（561980）复制跟踪中证半导体产业指数走势，该指数主要聚焦40只半导体设备、材料等上游产业链公司，前十大成分股覆盖北方华创、中微公司、中芯国际、韦尔股份、海光信息、华海清科、拓荆科技、南大光电、沪硅产业、长川科技等公司，合计占比约76%，指数集中度相对较高。
行业分布上，该指数更侧重上游设备、材料等。按照中证指数公司数据，“半导体材料与设备”占比约70%。从产业链角度看，上游的半导体设备和材料国产替代空间广阔，持续受到市场重视和产业政策支持。场外可通过联接基金（A：020464；C：020465）进行关注。
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