原标题:晶瑞电材:高端KrF(248)光刻胶已完成中试 进入客户测试阶段 来源:证券时报·e公司
证券时报e公司讯,晶瑞电材(300655)表示,公司高端KrF(248)光刻胶已完成中试,建成了中试示范线,已进入客户测试阶段。近期已购得KrF光刻机一台,可用于KrF光刻胶的曝光测试,同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。目前ArF(193)高端光刻胶研发工作已正式启动,已完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等设备购置,其中ASML1900Gi型光刻机设备正在积极调试中。同时公司正在积极开展对上游材料树脂单体及配方的研究。
![](http://n.sinaimg.cn/finance/cece9e13/20200514/343233024.png)
海量资讯、精准解读,尽在新浪财经APP
APP专享直播
热门推荐
收起![新浪财经公众号 新浪财经公众号](http://n.sinaimg.cn/finance/72219a70/20180103/_thumb_23666.png)
新浪财经公众号
24小时滚动播报最新的财经资讯和视频,更多粉丝福利扫描二维码关注(sinafinance)