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9月3日午间，中芯国际披露，拟投资88.7亿美元（约合人民币570亿元），建设月产能10万片的12英寸晶圆厂，聚焦于28nm及以上技术节点的晶圆代工服务等。
消息一出，国产半导体设备、材料概念股强劲反弹。
“新建产线是国产半导体设备、材料的大机遇。”对此，有业内人士表示，新建晶圆厂的设备支出占到其投资额近八成，这意味着10万片厂将采购高达70亿美元的设备，将给国产设备带来强劲增长机遇。相比原有产线，国产材料也更容易导入新建产线，业内预计中芯国际新建产线投产后也将大幅拉动国产半导体材料出货量。
中芯国际570亿元投产
9月3日午间，中芯国际公告，公司与临港自由贸易区等成立合资公司，在临港建设月产能10万片的12英寸晶圆代工生产线，聚焦于提供28nm及以上技术节点的晶圆代工与技术服务。
中芯国际披露，该项目计划投资约88.7亿美元，该合资公司注册资本金拟为55亿美元，其中公司拟出资占比不低于51%，上海市人民政府指定的投资主体拟出资占比不超过25%。
业内人士认为，中芯国际扩产对其自身及中国半导体产业的意义重大。在全球半导体需求持续增长、产能紧张的大背景下，中芯国际积极扩产，有助于其自身市场份额、盈利能力的提升。
国产半导体设备、材料迎强劲增长
中芯国际的大扩产计划，有望大力带动国产半导体设备、材料产业的发展。
“相比原来产线，国产设备、材料切入新建产线更加容易，也可以获得更多的份额。”对此，上述业内人士表示，中芯国际扩产28nm等成熟制程，已经具有成熟产品的国产半导体设备公司、以及半导体材料公司，将迎来强劲增长机遇。
相关数据显示，10万片月产能的成熟制程晶圆厂，设备采购额高达70亿美元（约450亿元）。华西证券研报显示，在晶圆制造设备开支占比上，刻蚀设备占比约22.1%、CVD设备16.4%，合计64.9%；CMP设备3.5%，离子注入设备3%，溅射设备4.8%，热处理设备2.7%，清洗设备7%，前道检测设备10.5%。
多家国产半导体设备商已经可以提供用于前道28nm及以上制程的设备。
具体来看，中微公司、北方华创可提供刻蚀机。其中，中微公司在CCP电容性高能等离子体刻蚀机和ICP电感性低能等离子体刻蚀机两种设备上，中微公司都开发了单反应台反应器、双反应台反应器，来满足不同客户需求。
万业企业可提供低能大束流、低能大束流重金属、低能大束流超低温、高能离子注入机设备等多种型号的离子注入机设备，公司已经取得了7台订单。
万业企业半年披露了控股子公司凯世通的经营情况
至纯科技的前道用槽式、单片式湿法设备需求旺盛。公司在半年报中披露，公司上半年整体新增订单17.2亿元，达到去年全年新增订单的88%。其中，湿法设备新增订单4.3亿元（湿法设备中单片设备新增订单2亿元），达到去年全年湿法订单的85%。
此外，芯源微可提供涂胶显影设备，精测电子的前道晶圆检测复查设备已经进入客户验证流程。
中芯国际新建产线投产后，将大幅拉动国产半导体材料的出货量。
“月产能10万片的晶圆厂，每个月双氧水用量约1000吨、硫酸约1200吨。”对于中芯国际扩产，晶瑞电材董秘陈万鹏告诉记者，这对国产半导体材料是大利好，晶瑞电材的双氧水、硫酸将“供不应求”。
除了高纯双氧水、高纯硫酸等，晶瑞电材的光刻胶也将迎来更大市场。目前，晶瑞电材的紫外负型光刻胶和宽谱正胶及部分g线等高端产品已规模供应市场数十年；i线光刻胶近年已向中芯国际等企业供货；高端KrF（248）光刻胶已完成中试，建成了中试示范线进入客户测试阶段；ArF高端光刻胶研发工作已启动。
在光刻胶方面，彤程新材也将获得更高的增长。今年上半年，彤程新材新增的10只光刻胶产品获得长江存储、中芯北方等用户订单，并趁着信越缺货之际迅速完成了KrF光刻胶产品放量。公司旗下北京科华是国内最先进的光刻胶公司，其上半年半导体光刻胶业务实现营收5647.83万元，同比增长46.74%，其中KrF光刻胶产品营收较上年同期更是大增94.51%。
大硅片占到晶圆厂耗材比例近37%。沪硅产业是国内最先进的12英寸大硅片厂商，已覆盖中芯国际、长江存储等国内主流的晶圆厂、存储厂。公司目前月产能已经达到25万片，并提出年底实现30万片/月的产能目标。在业内人士看来，硅片厂月产能达到30万片，就开始具有规模效应。
此外，安集科技是国内CMP抛光液龙头公司。鼎龙股份的CMP抛光垫7月的产能已突破1万片，其中12英寸占比超过80%。
综上看见，随着市场的变迁，产业的发展，国产半导体设备及材料领域开始崭露头角。而中芯国际的扩产，有望给这些方兴未艾的企业再添发展动力。
责任编辑：张书瑗
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