同飞股份:液冷、水冷、恒温设备助力半导体行业，拥有相关专利技术支持|半导体行业_新浪财经

投资者提问：

自2022年针对半导体行业需要研发了液冷、空冷、换热器等产品及解决方案。公司的SCFI-变频氟化液冷却机应用于半导体行业的刻蚀设备、涂布显影设备、试验机等场景;SCWI-变频水冷却机应用于半导体行业刻蚀设备、外延生长设备、光刻设备、CMP设备等应用场景;公司液体恒温设备在半导体制造设备领域主要应用于光刻机、刻蚀机、PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度控制，请问情况是否属实，公司有无相关专利？

董秘回答(同飞股份SZ300990)：

尊敬的投资者您好，半导体器件制造设备是极其精密的机电产品，工艺过程中的温度波动大小关系到半导体产品的良品率和精度。公司半导体器件制造设备专用温控设备主要应用于半导体器件加工工艺过程，通过多年的业务实践已形成了涵盖热工、控制、节能等领域的核心技术，核心技术对应的专利覆盖工业温控设备的基础工作环节，并与下游核心运用领域紧密结合。感谢您的关注。

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