投资者提问：
请问老师，贵司的光栅尺最高分辨率是多少？精度是多少？
董秘回答(苏大维格SZ300331)：
您好，制程越先进，光刻机光栅尺的周期精度要求越高，如28nm制程的光刻机要求的光栅尺周期精度小于2nm。公司相关产品周期精度小于1nm，鉴于保密信息，详细参数暂不便透漏。谢谢关注！
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