投资者提问:尊敬的中光学董秘及工作人员,您好!蔡司生产的最新一代EUV光刻...

投资者提问:尊敬的中光学董秘及工作人员,您好!蔡司生产的最新一代EUV光刻...
2023年08月29日 08:31 问董秘

投资者提问:

尊敬的中光学董秘及工作人员,您好!蔡司生产的最新一代EUV光刻机反射镜,能够做到最大直径1.2米,面形精度峰谷值0.12纳米,表面粗糙度20皮米。请问贵司有没有研发光刻机反射镜的战略计划和技术储备?请问贵司与国内高校是否有研发项目上的合作?请于百忙之中及时回复,万分感谢!

董秘回答(中光学SZ002189):

公司暂未涉及光刻机领域;公司积极与西安交通大学、湖南大学、长春理工大学等国内高校、科研院所建立科研开发、技术创新等合作。谢谢关注。

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