投资者提问:
您好,请问krf光刻胶是否已经进入了量产,客户通过验证了没有?另外,arf光刻机是否21年就已经购入?目前研发进展如何?有没有缺陷检测仪等相关设备?今年arf是否可以投入认证?
董秘回答(晶瑞电材SZ300655):
尊敬的投资者:公司子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司共拥有以5台光刻机为核心的光刻胶研发测试平台,覆盖紫外宽谱、g线、i线、KrF及ArF光刻胶检测,可为公司产品研发测试、客户验证等提供全面的核心设备保障。公司KrF高端光刻胶部分品种已量产;ArF高端光刻胶研发工作已启动。关于公司产品研发和客户认证进展,请关注公司定期报告等公告。谢谢您的关注!
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