投资者提问:
光刻胶KRF线只能用在0.13μm-0.25μm 集成电路,和现在主流的7nm-65nm 集成电路以及7nm以下差距很远,请贵司告知研发EUV的IC光刻胶进展怎么样? 什么时候可以中试?谢谢
董秘回答(晶瑞电材SZ300655):
尊敬的投资者您好!公司将会依据自身状况和市场情况合理规划产品开发路线图。感谢您对公司的关注与支持!
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