2024年2月1日消息,据国家 知识产权 局公告,宁波 江丰电子 材料股份有限公司取得一项名为“一种含铝靶材及其制备方法“,授权公告号CN114717525B,申请日期为2022年4月。
专利摘要显示,本发明提供了一种含铝靶材及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:将含铝靶材坯料依次进行锻造、一次热处理、冷压、二次热处理和冷轧,得到含铝靶材。本发明所述方法根据靶材的材质选择合适的制备工艺,通过对热处理及轧制工艺的控制,优化靶材的内部组织结构,对其再结晶过程进行调控,以此控制其再结晶度及晶粒尺寸的均匀性,从而能够提高靶材溅射时镀膜的均匀性,提高镀膜的质量;所述方法操作简单,所需成本较低,应用范围较广。
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