国海证券发布研究报告称，半导体行业需求回暖叠加中国大陆晶圆厂持续扩产，国内半导体设备市场长期有望稳健增长。质量控制贯穿晶圆制造全过程，是芯片生产良率的关键保障，先进制程将对工艺控制水平提出更高要求，量检测设备价值量有望倍增。测算2023/2024/2025/2026年全球半导体量检测设备市场空间分别为105/120/138/145亿美元，CAGR达11.5%，中国大陆半导体量检测设备市场空间分别为35/41/48/51亿美元，CAGR达12.8%。
▍国海证券主要观点如下：
半导体量检测设备市场空间广阔
半导体行业需求回暖叠加中国大陆晶圆厂持续扩产，国内半导体设备市场长期有望稳健增长。质量控制贯穿晶圆制造全过程，是芯片生产良率的关键保障，先进制程将对工艺控制水平提出更高要求，量检测设备价值量有望倍增。测算2023/2024/2025/2026年全球半导体量检测设备市场空间分别为105/120/138/145亿美元，CAGR达11.5%，中国大陆半导体量检测设备市场空间分别为35/41/48/51亿美元，CAGR达12.8%。
多系统组合有望成为检测技术方向
测算2022年全球光学/电子束/X光检测设备市场份额分别为74.2%/19.7%/2.2%，光学检测速度快、无接触，然而先进节点检测灵敏度有限;电子束检测精度较高，然而速率较慢、设备成本较高;随着芯片材料和结构复杂性持续提升，多系统组合有望成为检测技术方向。
近年量检测设备国产替代正在加速
据VLSIResearch、QYResearch，2020年全球半导体量检测设备行业CR5达82%，KLA历经多次并购，产品种类齐全，2020年KLA量检测设备全球市占率达51%;ASML将量检测设备与EUV系统配套，电子束检测设备竞争优势显著，据theinformationnetwork，2022年ASLM电子束检测设备全球市占率达50%。
目前量检测设备国产化率较低，本土主要供应商包括上海精测、中科飞测和睿励仪器，2018-2022年三家公司国内市场份额合计0.67%/0.60%/2.11%/2.38%/3.17%，地缘因素影响下，量检测设备国产替代正在加速。
关注本土设备商新品突破及订单进展
半导体量检测设备空间广阔，国产替代正在加速，建议关注精测电子(300567.SZ)、中科飞测(688361.SH)、中微公司(688012.SH)、赛腾股份(603283.SH)、天准科技(688003.SH)。
1)精测电子：立足面板检测主业，半导体产品持续完善，明场检测设备进展领先;2)中科飞测：聚焦量检测设备近十年，纳米图形晶圆缺陷检测、关键尺寸量测等设备加速研发;3)中微公司：多次增资睿励仪器，量检测收入持续增长;4)赛腾股份：收购日本Optima，布局晶圆检测设备;5)天准科技：加速布局半导体领域，首台明场检测设备已交付客户试用。首次覆盖，给予半导体前道量检测设备行业“推荐”评级。
风险提示：
半导体行业景气度复苏不及预期;半导体设备国产替代不及预期;行业竞争加剧风险;市场空间测算偏差风险;重点关注公司业绩不及预期;研究报告使用的公开资料可能存在信息滞后或更新不及时的风险等。
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