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金融界2024年6月17日消息,天眼查知识产权信息显示,佛山市联动科技股份有限公司申请一项名为“晶圆测试机台及晶圆动态参数的测试方法”,公开号CN202410598190.5,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,本发明提供一种晶圆测试机台及晶圆动态参数的测试方法,测试机台包括:晶圆托盘,用于放置待测试晶圆,电连接待测试晶圆的Drain极;中央连接架,位于晶圆托盘上方,与晶圆托盘的边缘接触且电连接;测试设备下底板,位于中央连接架上方;晶圆托盘上升使得中央连接架与测试设备下底板接触,形成包围待测试晶圆的封闭腔体,且测试设备下底板与中央连接架电连接,以将待测试晶圆的Drain极连接至测试设备。本发明通过晶圆托盘、中央连接架以及测试设备下底板将待测试晶圆Drain极连接至测试设备,并不需要连线,并且形成一个封闭的空腔,此空腔通过优化磁场设计,能够降低杂散电感,从而能够在晶圆阶段测试动态参数,降低了封装成本。
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