德龙激光申请基于空间光调制器的碳化硅晶锭激光分片装置及其方法专利，提升分片效率_新浪财经

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金融界2024年6月7日消息，天眼查知识产权信息显示，苏州德龙激光股份有限公司申请一项名为“基于空间光调制器的碳化硅晶锭激光分片装置及其方法“，公开号CN202410505105.6，申请日期为2024年4月。

专利摘要显示，本发明涉及基于空间光调制器的碳化硅晶锭激光分片装置及方法，激光器的输出光路上依次布置有扩束镜和空间光调制器，空间光调制器的输出光路上依次设有第一透镜、第一反射镜、第二透镜以及第二反射镜，第二反射镜的反射光路上布置有物镜，物镜正对于待加工碳化硅晶锭；第一透镜焦距是第二透镜焦距的两倍。空间光调制器加载生成的圆形平顶光束和横向多焦点结合的全息相位图，聚焦在碳化硅内部生成可调间距的横向双焦点的圆形平顶光束，控制空间光调制器所加载的相位图，生成多个横向焦点，焦点间距通过相位图进行调整；利用空间光调制器光斑整形在碳化硅晶锭内部聚焦成横向双焦点，利用圆形平顶光束进行分片，对碳化硅晶锭分片加工，提升分片效率。

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