中船特气申请NF3充装尾气回收专利，有效地回收了NF3充装尾气。_新浪财经

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金融界2024年6月7日消息，天眼查知识产权信息显示，中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司申请一项名为“一种NF3充装尾气回收的装置和方法“，公开号CN202410006340.9，申请日期为2024年1月。

专利摘要显示，本申请涉及一种NF3充装尾气回收的装置和方法，具体包括：平衡罐和冷阱，所述平衡罐进口接充装尾气，平衡罐出口管路上设置有平衡罐出口调节阀，冷阱进口连通充装排上钢瓶残气、称重余气和平衡罐出口，冷阱的出气口连通汽化器的进气口，汽化器上设置回流管路，用于维持冷阱内液体流出的压力差，汽化器出口连通NF3储罐。本申请还提供一种NF3充装尾气回收的方法，基于本申请的装置，有效地回收了NF3充装尾气。本申请不仅在一套装置中高效的实现了充装尾气的回收，也保证了分析仪器后压力的稳定，避免分析结果受到影响，设备及方法简单，效率较高，成本低。

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