南大光电取得高纯六羰基钨的提纯方法专利，该纯化方法获得的六羰基钨纯度高达99.9999％|钨_新浪财经

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金融界2024年3月14日消息，据国家知识产权局公告，江苏南大光电材料股份有限公司取得一项名为“高纯六羰基钨的提纯方法“，授权公告号CN114790009B，申请日期为2022年5月。

专利摘要显示，本发明公开了高纯六羰基钨的提纯方法，先对原料除水处理，采用放置真空烘箱的方式对六羰基钨除水；于无氧无水惰性气氛升华，采用升华柱对原料进行升华，去除低沸点馏分和高沸点杂质，收集中间段馏分；体系高真空操作，采用高真空改变系统的蒸气压，并不断改变系统真空度，分离掉低沸点和高沸点杂质；刮料，收集高纯的六羰基钨。有效去除六羰基钨中的有机杂质，并且通过ICP‑OES的全元素检测，该纯化方法可以除去六羰基钨中的无机杂质，所有的无机杂质含量小于1ppm，该纯化方法获得的六羰基钨纯度高达99.9999％，满足半导体行业的原料使用要求。