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资料来源：TrendForce集邦咨询
（3）新能源光伏领域
▶铜电镀工艺降本增效，曝光设备空间广阔
近年来，国际地缘政治冲突与能源危机愈演愈烈，能源独立成为各国社会经济发展的重要因素。光伏产业是我国优势产业，是我国实现“双碳战略”的重要途径之一，近年来发展态势良好。根据国家能源局数据,2023年光伏新增装机容量达到216.88GW，同比增长148%。根据CPIA预测，到2030年我国光伏新增装机量有望达317GW，将有效拉动的光伏电池片的市场需求。
在技术发展方面，目前我国光伏电池片仍以P型PERC技术为主，随着产品需求逐渐转向高效产品，具有更高光电转换效率的N型电池开始快速发展，TOP-Con、HJT等N型电池新技术有望快速渗透。根据CPIA《2023-2024年中国光伏发展路线图》数据，2023 年，新投产的量产产线以N型电池片产线为主。随着N型电池片产能陆续释放，PERC电池片市场占比被压缩至73.0%。N型电池片占比合计达到约26.5%，其中N型TOPCon电池片市场占比约23.0%，异质结电池片市场占比约2.6%，XBC电池片市场占比约0.9%，相较2022年都有大幅提升。
图：2023-2030年不同电池技术路线市场占比变化趋势
由于现阶段N型电池采用传统的“银浆+丝网印刷”栅线制造工艺，成本较高，制约了其大规模产业化发展。通过应用铜电镀工艺，用“LDI曝光+电镀”替代传统丝网印刷工艺，能够在实现“以铜代银”的同时，有效缩小栅线宽度，有效降低光伏电池片成本，具有广阔的市场发展空间。根据光大证券测算，2023-2030年全球光伏电池片曝光设备市场需求将由0.35亿元快速增长至13.64亿元，年复合增长率高达68.75%。
资料来源：光大证券
（4）主要技术门槛
光刻设备产业属于技术密集型、资金密集型产业，具有较高的技术、资金门槛，设备涵盖多门学科（光、机、电、软、算）的综合技术应用，在核心技术研发上具有研发周期长、研发风险高和研发投入大等特点。随着PCB及泛半导体应用环境的不断发展，电子器件结构趋于复杂，集成度越来越高，对光刻设备相关性能指标提出了更高的要求。
2. 公司所处的行业地位分析及其变化情况
公司在微纳直写光刻核心技术领域具有丰富的技术积累，在系统集成技术、光刻紫外光学及光源技术、高精度高速实时自动对焦技术、高精度高速对准多层套刻技术、高精度多轴高速大行程精密驱动控制技术、高可靠高稳定性及 ECC 技术、高速实时高精度图形处理技术和智能生产平台制造技术等前沿科技领域不断投入研发力量，持续构筑和强化产品技术壁垒。
公司是光刻技术领域里拥有关键核心技术PCB直接成像设备及泛半导体直写光刻设备的国产供应商之一，是国内最早从事直写光刻设备开发的企业之一，是国内首家光刻设备上市公司。核心技术团队成员具备三十多年的高端装备开发经验，深耕行业多年。凭借着产品技术、服务及品牌优势，公司在泛半导体领域打破了国际垄断，产品性能已比肩国际厂商，产品技术及市场份额国内领先。作为国内直写光刻设备领军企业，近年来公司不断提升PCB曝光设备性能，设备功能从线路层曝光扩展至阻焊层曝光，全面覆盖PCB各细分产品市场。同时不断推出用于IC掩模版制版、IC载板、先进封装、新能源光伏、新型显示等细分领域的泛半导体直写光刻设备，成长空间得到不断拓展。
3. 报告期内新技术、新产业、新业态、新模式的发展情况和未来发展趋势
▶需求高端化、国产替代与全球化策略共同驱动主业成长
全球泛半导体、PCB行业需求稳定增长，叠加贸易争端及国外技术封锁等因素，产业往中国转移态势明显，国产替代进程加速，国产设备厂商迎来历史性机遇。下游需求推动高端化迭代，高端芯片及PCB占比不断提升，新能源、汽车、服务器、存储器细分行业政策及需求的持续拉动，新型显示等应用场景的增加，厂商投建进程加快，对应光刻设备需求不断增加。
公司深耕PCB领域，先后开发了一系列PCB直接成像设备，在最小线宽、产能、对位精度等设备核心性能指标方面具有较高的技术水平，并不断凭借性价比及本土服务优势脱颖而出，产品市场渗透率快速增长。同时，公司不断向精度要求更高的泛半导体领域拓展，持续推出新产品，主要应用于下游IC掩膜版制版以及IC载板、先进封装、OLED显示面板、新型显示、新能源光伏图形化等直写光刻工艺环节。
▶紧握多重行业机遇，着眼长远布局，打造直写光刻平台型企业
报告期内，公司在业务布局、财务能力、人才引进、研发投入等方面作进一步的战略优化，持续提升公司业务覆盖度的深度及广度，敏锐把握市场发展机遇，实现公司主营业务的可持续发展。未来通过定增募投项目的建成与扩产，首先，将进一步深化公司直写光刻设备在PCB阻焊领域的产业化应用，同时有效实现向新型显示、引线框架以及新能源光伏领域的应用拓展，把握新兴市场机遇，占据市场主动；其次，顺应IC载板和类载板良好的市场发展前景，把握我国高端装备国产化替代机遇；最后，实现关键子系统和核心零部件自主可控，增强供应链稳定性与直写光刻设备产品制造的全流程核心技术自主可控能力。此外，在当下AI算力时代，作为技术创新驱动型公司，公司将持续推进前沿技术研发，持续发挥先发优势，在先进封装领域加大对准、键合设备研发与生产，积极布局先进封装所需要的量测、曝光、检测的技术路线图，加大半导体制程中关键设备的布局，致力于打造先进封装平台型企业。
未来，公司将进一步提升科技创新能力，面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家在电子信息、半导体以及新能源光伏等战略新兴行业内的重大需求，服务于国家创新驱动发展战略及国家经济高质量发展战略。
3 公司主要会计数据和财务指标
3.1 近3年的主要会计数据和财务指标
单位：元 币种：人民币
3.2 报告期分季度的主要会计数据
单位：元币种：人民币
季度数据与已披露定期报告数据差异说明
□适用√不适用
4 股东情况
4.1 普通股股东总数、表决权恢复的优先股股东总数和持有特别表决权股份的股东总数及前 10 名股东情况
单位: 股
存托凭证持有人情况
□适用 √不适用
截至报告期末表决权数量前十名股东情况表
□适用 √不适用
4.2 公司与控股股东之间的产权及控制关系的方框图
√适用 □不适用
4.3 公司与实际控制人之间的产权及控制关系的方框图
√适用 □不适用
4.4 报告期末公司优先股股东总数及前10 名股东情况
□适用 √不适用
5 公司债券情况
□适用 √不适用
第三节 重要事项
1 公司应当根据重要性原则，披露报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项。
报告期内，公司实现营业收入82,885.54万元，同比增长27.07%，归属于上市公司股东的净利润17,930.58万元，同比增长31.28%，公司主要业务增长来自于 PCB 及泛半导体领域业务增长，其中 PCB 业务同比增长11.94%；泛半导体业务增长迅速，同比增长96.91%。经营活动产生的现金流量净额同比下降2,093.69%,主要系采购备货增加，以及人员增加薪酬总额相应增加所致。
2 公司年度报告披露后存在退市风险警示或终止上市情形的，应当披露导致退市风险警示或终止上市情形的原因。
□适用√不适用
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
一、董事会会议召开情况
合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）第二届董事会第十五次会议于2024年4月12日以电子邮件方式向全体董事发出通知，2024年4月23日在公司会议室以现场结合通讯的方式召开。会议应出席董事9名，实际出席董事9名，会议由董事长程卓召集并主持。本次会议召开符合《公司法》等法律法规及《公司章程》的有关规定。
二、董事会审议情况
（一）审议通过《关于公司2023年年度报告及摘要的议案》
根据相关法律、法规、规范性文件的规定，公司编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2023年年度报告》及其摘要，对公司经营情况、财务状况等方面进行了分析总结。
本议案已经公司第二届董事会审计委员会第七次会议审议通过。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2023年年度报告》及其摘要。
（二）审议通过《关于公司2024年第一季度报告的议案》
根据相关法律、法规、规范性文件的规定，公司编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2024年第一季度报告》，展现了2024年第一季度经营情况。
本议案已经公司第二届董事会审计委员会第七次会议审议通过。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2024年第一季度报告》。
（三）审议通过《关于公司2023年度财务决算报告的议案》
鉴于公司2023年度财务报表已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审计，出具了标准无保留意见的审计报告。公司财务部根据2023年度的财务运行情况编制了2023年度财务决算报告。
本议案已经公司第二届董事会审计委员会第七次会议审议通过。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
（四）审议通过《关于公司2023年度利润分配预案的议案》
公司拟以实施权益分派股权登记日登记的总股本扣减公司回购专用证券账户中股份为基数，向全体股东每10股派发现金红利8.00元（含税），不进行资本公积转增股本，不送红股。截至本公告披露日，公司总股本131,419,086股，扣除公司回购专用证券账户中股份数477,322股后的股本130,941,764股为基数，以此计算合计派发现金红利104,753,411.20元（含税），占2023年度合并报表归属于上市公司股东净利润的58.42%。
如在分配预案披露之日起至实施权益分派股权登记日期间因新增股份上市、股份回购等事项导致公司总股本发生变化的，则以未来实施分配方案的股权登记日的总股本扣减回购专用证券账户中股份数为基数，按照每股分配比例不变的原则对分配总额进行调整，并将另行公告具体调整情况。
本议案已经公司第二届董事会审计委员会第七次会议审议通过。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2023年度利润分配预案的公告》。
（五）审议通过《关于公司2023年度董事会工作报告的议案》
公司董事会根据2023年度工作情况制订了年度工作报告。2023年度，公司董事会各位董事恪尽职守、认真履职，为公司科学决策、合理规划提出了专业化建议。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
（六）审议通过《关于公司2023年度独立董事述职报告的议案》
公司独立董事在2023年度工作中，勤勉、尽责、诚信、独立地履行独立董事的职责，向公司董事会提交了述职报告，并将在公司2023年年度股东大会上进行述职。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《2023年度独立董事述职报告（陈小剑）》、《2023 年度独立董事述职报告（杨维生）》、《2023年度独立董事述职报告（胡刘芬）》。
（七）审议通过《关于独立董事独立性自查情况的议案》
董事会认为公司独立董事符合《上市公司独立董事管理办法》《上海证券交易所科创板上市 公司自律监管指引第1号一一规范运作》中对独立董事独立性的相关要求。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《董事会对独立董事独立性自查情况的专项报告》。
（八）审议通过《关于公司2023年度总经理工作报告的议案》
2023年度，公司全体经营管理层在董事会的领导下，根据既定的经营计划指引，各项工作扎实有序推进。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
（九）审议通过《关于公司 2023年度董事会审计委员会履职报告的议案》
2023年度公司董事会审计委员会勤勉尽责，认真履行了审计监督职责，编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2023年度审计委员会履职报告》，向公司董事会提交了履职报告。
本议案已经公司第二届董事会审计委员会第七次会议审议通过。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《2023年度董事会审计委员会履职情况报告》。
（十）审议通过《关于审计委员会对会计师事务所履行监督职责情况报告的议案》
公司董事会审计委员会本着勤勉尽责的原则，恪尽职守，认真履职，结合公司内部控制制度和评价办法，并编制了《2023年度公司董事会审计委员会关于会计师事务所履行监督职责情况的报告》。
本议案已经公司第二届董事会审计委员会第七次会议审议通过。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《2023年度董事会审计委员会对会计师事务所履行监督职责情况的报告》。
（十一）审议通过《关于会计师事务所履职情况评估报告的议案》
根据财政部、国资委及证监会颁布的《国有企业、上市公司选聘会计师事务所管理办法》，公司对容诚会计师事务所（特殊普通合伙）在2023年年度审计中的履职情况进行了评估。经评估，公司认为，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）在资质等方面合规有效，履职能够保持独立性，勤勉尽责、公允表达意见，同时编制了《2023年度会计师事务所履职情况评估报告》。
本议案已经公司第二届董事会审计委员会第七次会议审议通过。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《2023年度会计师事务所履职情况评估报告》。
（十二）审议通过《关于公司2023年度内部控制评价报告的议案》
公司结合内部控制制度和评价办法，在内部控制日常监督和专项监督的基础上，对公司2023年12月31日（内部控制评价报告基准日）的内部控制有效性进行了评价，并编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2023年度内部控制评价报告》。
本议案已经公司第二届董事会审计委员会第七次会议审议通过。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2023年度内部控制评价报告》。
（十三）审议通过《关于公司2023年度募集资金存放与使用情况的专项报告的议案》
根据中国证监会发布的《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》和上海证券交易所发布的《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等有关规定，公司编制了截至2023年12月31日的《关于公司2023年度募集资金存放与使用情况的专项报告》。
本议案已经公司第二届董事会审计委员会第七次会议审议通过。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2023年度募集资金存放与使用情况的专项报告》。
（十四）审议通过《关于续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2024年度审计机构的议案》
容诚会计师事务所（特殊普通合伙）在2023年度对公司的审计工作中，客观、公正、严谨、认真地履行了职责，现拟继续聘请容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司2024年度审计机构。
本议案已经公司第二届董事会审计委员会第六次会议审议通过。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于续聘会计师事务所的公告》。
（十五）审议通过《关于2024年度向金融机构申请综合授信额度的议案》
为满足公司生产经营需求，同意公司向金融机构申请不超过人民币80,000万元的综合授信额度，综合授信品种包括但不限于贷款、承兑汇票、贴现、信用证、押汇、保函、代付、保理等。实际融资金额应在授信额度内，并以金融机构与公司实际发生的融资金额为准，实际融资金额将视公司运营资金的实际需求决定。
本议案已经公司第二届董事会审计委员会第七次会议、第二届董事会战略与发展委员会第四次会议审议通过。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于2024年度向金融机构申请综合授信额度的公告》。
（十六）审议通过《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》
公司拟按照相关规定严格控制风险，严格按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规、《公司章程》以及公司募集资金管理相关制度等有关规定办理相关现金管理业务，使用不超过人民币65,000万元（含本数）暂时闲置募集资金和不超过30,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，使用期限不超过股东大会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。
本议案已经公司第二届董事会审计委员会第七次会议审议通过。
表决结果：9票同意、0票反对、0票弃权；获全体董事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的公告》。
（十七）审议通过《关于公司2024年度董事薪酬方案的议案》
根据《公司法》《证券法》《公司章程》等有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件的规定，综合考虑公司的实际情况及行业、地区的薪酬水平和职务贡献等因素，经薪酬与考核委员会确认，公司制定了2024年度公司董事薪酬方案。
本议案已经公司第二届董事会薪酬与考核委员会第三次会议审议，所有委员均为关联人，已回避表决并提交董事会审议。
表决结果：所有董事均为关联人，本议案直接提交公司2023年年度股东大会审议。
（十八）审议通过《关于公司2024年度高级管理人员薪酬方案的议案》
根据《公司法》《证券法》《公司章程》等有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件的规定，综合考虑公司的实际情况及行业、地区的薪酬水平和职务贡献等因素，经薪酬与考核委员会确认，公司制定了2024年度公司高级管理人员薪酬方案。
本议案已经公司第二届董事会薪酬与考核委员会第三次会议审议，委员方林为公司高管，回避审议，其余委员一致通过并提交董事会审议。
表决结果：同意7票，反对0票，弃权0票，回避2票。董事方林、魏永珍为本议案的关联董事，已回避表决。
（十九）审议通过《关于购买董监高责任险的议案》
为进一步完善公司风险管理体系，促进公司董事、监事及高级管理人员充分履职，降低公司运营风险，保障广大投资者的利益，根据《上市公司治理准则》的相关规定，公司拟为公司及全体董事、监事、高级管理人员购买责任险。
本议案已经公司第二届董事会薪酬与考核委员会第三次会议审议，所有委员均为关联人，已回避表决并提交董事会审议。
表决结果：所有董事均为关联人，本议案直接提交公司2023年年度股东大会审议。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于购买董监高责任险的公告》。
（二十）审议通过《关于提请召开2023年年度股东大会的议案》
根据《公司法》《公司章程》的有关规定，董事会决定于2024年5月14日召开2023年年度股东大会。
表决结果：9票同意，0票反对，0票弃权；获全体董事一致通过。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于召开2023年年度股东大会的通知》
特此公告。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
2024年4月24日
证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2024-022
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
2023年度募集资金存放与使用情况的专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
根据中国证券监督管理委员会(以下简称“证监会”)《上市公司监管指引第2号一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》的规定，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）董事会对2023年度募集资金存放与使用情况的专项报告说明如下：
一、 募集资金基本情况
1、首次公开发行股票募集资金
根据中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]350号）的批准，公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票3,020.2448万股，募集资金总额人民币459,983,283.04元，募集资金净额为人民币416,358,195.95元。上述资金已于2021年3月29日全部到位，并存放于公司开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字【2021】230Z0034号）。
截至2023年12月31日，募集资金存放银行产生利息共计人民币13,792,202.76（含活期利息）元。截至2023年12月31日，已使用募集资金金额为人民币305,784,341.77元，本年度已使用募集资金金额为人民币56,902,426.94元。因公司首次公开发行募投项目均已结项，报告期末，公司闲置募集资金投资相关产品已全部赎回，现金管理理财结算户募集资金余额为0元，募集资金存储账户余额为人民币0元。
2、2022年度向特定对象发行股票募集资金
根据中国证券监督管理委员会于2023年3月15日出具的《关
于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2023]563号），同意公司向特定对象发行股票注册申请。公司向特定对象发行10,497,245股人民币普通股，募集资金总额为人民币 797,685,647.55元，扣除相关发行费用（不含税）人民币8,322,726.38元，募集资金净额为人民币789,362,921.17元。上述资金已于2023年7月25日全部到位，并存放于公司开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字[2023]230Z0198号）。
截至2023年12月31日，募集资金存放银行产生利息共计人民币 1,114,945.27（含活期利息）元。截至2023年12月31日，已使用募集资金金额为人民币76,286,355.60元，本年度已使用募集资金金额为人民币76,286,355.60元，进行现金管理余额为人民币680,000,000元，募集资金存储账户余额为人民币34,161,241.40 元。
二、 募集资金存放和管理情况
1、首次公开发行股票募集资金
公司根据有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，制定了《募集资金管理制度》，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。
公司、保荐机构海通证券股份有限公司、上海浦东发展银行股份有限公司合肥高新区支行、中信银行合肥分行营业部、中国建设银行股份有限公司合肥政务文化新区支行、中国农业银行合肥分行营业部签署了《募集资金专户存储三方监管协议》(以下简称“三方监管协议”)。《三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《三方监管协议》的履行不存在问题。
公司于2022年4月27日召开的公司第一届董事会第十七次会议、2022年5月18日召开的2021年年度股东大会审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》和《关于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意公司将首次公开发行募集资金部分投资项目“高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”结项并将节余募集资金用于永久补充公司流动资金，同时公司在履行相关审议程序后对募集资金进行了现金管理。
公司于2023年5月26日召开第二届董事会第七次会议、第二届监事会第六次会议，审议通过了《关于首次公开发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意公司将首次公开发行募集资金部分投资项目“晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目”、“平板显示（FPD）光刻设备研发项目”、“微纳制造技术研发中心建设项目”结项并将节余募集资金用于永久补充公司流动资金。至此，公司首次公开发行募投项目均已结项，同时办理完成了对首次公开发行募集资金专用账户的注销手续。
2、2022年度向特定对象发行股票募集资金
经公司股东大会授权，公司于2023年7月6日召开第二届董事 会第八次会议，审议通过了《关于公司设立2022年度向特定对象发行A股股票募集资金专用账户的议案》。为规范公司募集资金管理， 保护投资者权益，提高募集资金使用效率，根据《上市公司监管指引 第 2 号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022 修订）》、 《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引 1 号一一规范运作》 及公司《募集资金管理制度》等有关规定，公司、海通证券股份有限 公司与招商银行股份有限公司合肥分行、中信银行股份有限公司合肥分行、中国光大银行股份有限公司合肥分行和徽商银行股份有限公司合肥分行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。前述协议与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异。
截至2023年12月31日，募集资金存放情况如下表所示：
三、 2023年年度募集资金的实际使用情况
（一）募投项目的资金使用情况
报告期内，公司募集资金实际使用情况详见附表2023年年度募集资金使用情况对照表。
募投项目实际投资进度与投资计划不存在显著差异，也不存在无法单独核算效益的情形。
（二）募投项目先期投入及置换情况
截至2021年6月30日，公司已完成对预先投入募投项目的自筹资金的置换。报告期内公司不涉及对预先投入募投项目的自筹资金的置换的情形。
（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
截至2023年12月31日，公司无用闲置募集资金暂时补充流动资金的情形。
（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况
1、首次公开发行股票：
截至报告期末，公司首次公开发行募投项目均已结项，公司闲置募集资金投资相关产品已全部赎回，现金管理理财结算户募集资金余额为0元。
2、2022年度向特定对象发行股票：
公司于2023年8月7日召开了第二届董事会第九次会议和第二 届监事会第七次会议，于2023年8月23日召开2023年第三次临时股东大会，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以及公司正常业务开展的前提下，使用不超过人民币78,000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过20,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好，有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。在上述额度范围内，资金可以滚动使用，使用期限不超过股东大会审议通过之日起12个月。
截至2023年12月31日，公司对募集资金进行现金管理情况详见下表：
单位：元
（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
截至2023年12月31日，公司无此种情形。
（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况
截至2023年12月31日，公司无此种情形。
（七）节余募集资金使用情况
公司于2023年5月26日召开第二届董事会第七次会议、第二届监事会第六次会议，审议通过了《关于首次公开发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意公司将首次公开发行募集资金部分投资项目“晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目”、“平板显示（FPD）光刻设备研发项目”、“微纳制造技术研发中心建设项目”结项并将节余募集资金用于永久补充公司流动资金。
四、 变更募集资金投资项目的资金使用情况
公司于2023年5月26日召开第二届董事会第七次会议、第二届监事会第六次会议，审议通过了《关于首次公开发行股票募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意公司将首次公开发行募集资金部分投资项目“晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目”、“平板显示（FPD）光刻设备研发项目”、“微纳制造技术研发中心建设项目”结项并将节余募集资金用于永久补充公司流动资金。公司将该项目节余募集资金55,865,761.17 元(包含利息收入扣除银行手续费后净额 9,407,072.70元) 永久性补充流动资金，节余募集资金转出后，公司已对相应募集资金专户办理注销手续。该事项已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事发表了明确同意意见，保荐机构出具了核查意见。
五、 募集资金使用及披露中存在的问题
公司及时、真实、准确、完整的披露了相关信息，不存在募集资金管理的违规情形。
六、会计师事务所对公司2023年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的结论性意见
会计师事务所认为，芯碁微装《2023年度募集资金存放与使用情况的专项报告》在所有重大方面按照《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及交易所的相关规定编制，公允反映了芯碁微装2023年度募集资金实际存放与使用情况。
七、保荐机构对公司2023年度募集资金存放与使用情况所出具的专项核查报告的结论性意见
经核查，保荐机构认为，公司2023年度募集资金的存放与使用符合《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号一一规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度，对募集资金进行了专户存储和使用，截至2023年12月31日，公司不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，公司募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。保荐机构对芯碁微装2023年度募集资金存放与使用情况无异议。
八、上网公告附件
（一）海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司2023年度募集资金存放与使用情况的核查意见；
（二）容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对合肥芯碁微电子装备股份有限公司2023年度募集资金存放及使用情况鉴证报告。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
2024年4月24日
证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2024-018
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
第二届监事会第十三次会议决议的公告
本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
一、监事会会议召开情况
合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）第二届监事会第十三次会议于2024年4月12日以电子邮件方式发出通知，2024年4月23日在公司会议室召开。本次会议由监事会主席董帅召集并主持，会议应出席监事3名，实际出席监事3名。本次会议召开符合《公司法》等法律、法规及《公司章程》的有关规定。
二、监事会审议情况
（一）审议通过《关于公司2023年年度报告及摘要的议案》
根据相关法律、法规、规范性文件的规定，公司编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2023年年度报告》及其摘要，对公司经营情况、财务状况等方面进行了分析总结。
表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2023年年度报告》及其摘要。
（二）审议通过《关于公司2024年第一季度报告的议案》
根据相关法律、法规、规范性文件的规定，公司编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2024年第一季度报告》，展现了公司2024年第一季度经营情况。
表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2024年第一季度报告》。
（三）审议通过《关于公司2023年度财务决算报告的议案》
鉴于公司2023年度财务报表已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审计，出具了标准无保留意见的审计报告。公司财务部根据2023年度的财务运行情况编制了2023年度财务决算报告。
表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
（四）审议通过《关于公司2023年度利润分配预案的议案》
公司拟以实施权益分派股权登记日登记的总股本扣减公司回购专用证券账户中股份为基数，向全体股东每10股派发现金红利8.00元（含税），不进行资本公积转增股本，不送红股。截至本公告披露日，公司总股本131,419,086股，扣除公司回购专用证券账户中股份数477,322股后的股本130,941,764股为基数，以此计算合计派发现金红利104,753,411.20元（含税），占2023年度合并报表归属于上市公司股东净利润的58.42%。
如在分配预案披露之日起至实施权益分派股权登记日期间因新增股份上市、股份回购等事项导致公司总股本发生变化的，则以未来实施分配方案的股权登记日的总股本扣减回购专用证券账户中股份数为基数，按照每股分配比例不变的原则对分配总额进行调整，并将另行公告具体调整情况。
表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2023年度利润分配预案的公告》。
（五）审议通过《关于公司2023年度监事会工作报告的议案》
公司监事会按照《公司章程》的相关规定，根据公司监事会2023年度工作情况制订了年度工作报告。
表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
（六）审议通过《关于公司2023年度内部控制评价报告的议案》
公司结合内部控制制度和评价办法，在内部控制日常监督和专项监督的基础上，对公司2023年12月31日（内部控制评价报告基准日）的内部控制有效性进行了评价，并编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2023年度内部控制评价报告》。
表决结果：3票同意，0票反对，0票弃权；获全体监事一致通过。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2023年度内部控制评价报告》。
（七）审议通过《关于续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2024年度审计机构的议案》
容诚会计师事务所（特殊普通合伙）在2023年度对公司的审计工作中，客观、公正、严谨、认真地履行了职责，现拟继续聘请容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司2024年度审计机构。
表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于续聘会计师事务所的公告》。
（八）审议通过《关于公司 2023年度募集资金存放与使用情况的专项报告的议案》
公司2023年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告符合法律法规、《上海证券交易所科创板股票上市规则》《合肥芯碁微电子装备股份有限公司募集资金管理制度》等相关规定，该报告真实、客观的反映了公司2023年度募集资金的存放和实际使用情况。报告期内，公司募集资金实际投入项目与承诺投入项目一致，不存在违规使用募集资金的行为，亦不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形。
表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2023年度募集资金存放与使用情况的专项报告》。
（九）审议通过《关于2024年度向金融机构申请综合授信额度的议案》
为满足公司生产经营需求，同意公司向金融机构申请不超过人民币 80,000 万元的综合授信额度，综合授信品种包括但不限于贷款、承兑汇票、贴现、信用证、押汇、保函、代付、保理等。
表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于2024年度向金融机构申请综合授信额度的公告》。
（十）审议通过《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》
公司拟按照相关规定严格控制风险，严格按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规、《公司章程》以及公司募集资金管理相关制度等有关规定办理相关现金管理业务，使用不超过人民币65,000万元（含本数）暂时闲置募集资金和不超过30,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，使用期限不超过股东大会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。
表决结果：3票同意、0票反对、0票弃权；获全体监事一致通过。
此项议案尚需提交公司2023年年度股东大会审议。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议公告》。
（十一）审议通过《关于公司2024年度监事薪酬方案的议案》
根据《公司法》《证券法》《公司章程》等有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件的规定，综合考虑公司的实际情况及行业、地区的薪酬水平和职务贡献等因素，经薪酬与考核委员会确认，公司制定了2024年度公司监事薪酬方案。
表决结果：所有监事均为关联人，已回避表决，本议案直接提交公司2023年年度股东大会审议。
（十二）审议通过《关于购买董监高责任险的议案》
为进一步完善公司风险管理体系，促进公司董事、监事及高级管理人员充分履职，降低公司运营风险，保障广大投资者的利益，根据《上市公司治理准则》的相关规定，公司拟为公司及全体董事、监事、高级管理人员购买责任险。
表决结果：所有监事均为关联人，已回避表决，本议案直接提交公司2023年年度股东大会审议。
具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于购买董监高责任险的公告》。
特此公告。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司监事会
2024年4月24日
证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2024-020
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
关于2024年度向金融机构申请综合
授信额度的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”或“芯碁微装”）于2024年4月23日召开了第二届董事会第十五次会议和第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于2024年度向金融机构申请综合授信额度的议案》，同意公司在授权期限内向金融机构申请不超过人民币80,000.00 万元的综合授信额度。具体内容如下：
为促进公司持续发展，满足公司生产经营需求，公司拟向金融机构申请不超过人民币80,000.00 万元的综合授信额度，综合授信品种包括但不限于贷款、承兑汇票、贴现、信用证、押汇、保函、代付、保理等。实际融资金额应在授信额度内，并以金融机构与公司实际发生的融资金额为准，实际融资金额将视公司运营资金的实际需求决定。以上综合授信额度的授信期限自2023年年度股东大会审议通过之日起，至2024年年度股东大会召开之日止，在授信期限内，授信额度可循环使用且单笔融资不再上报董事会或股东大会审议。
为确保公司向银行申请授信额度的工作顺利进行，董事会同意提请股东大会授权公司董事长及其授权人员代表公司签署上述授信额度内的一切与授信有关的法律文件（包括但不限于签署授信、借款合同以及其他法律文件），并办理相关手续，由此产生的法律、经济责任全部由本公司承担。
上述事项尚需提交2023年年度股东大会审议。
特此公告。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
2024年4月24日
证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2024-023
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”或“芯碁微装”）于2024年4月23日召开了第二届董事会第十五次会议和第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以及公司正常业务开展的前提下，使用不超过人民币65,000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过30,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等）。在上述额度范围内，资金可以滚动使用，使用期限不超过股东大会审议通过之日起12个月，该事项需经股东大会审议。
董事会授权公司管理层在授权额度和期限内行使现金管理投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务中心负责组织实施。公司监事会、保荐机构海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）对上述事项出具了明确的同意意见。上述事项尚需提交股东大会审批。现将有关事项公告如下：
一、募集资金基本情况
公司2022年度向特定对象发行A股股票的注册申请于2023年3月15日经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）同意注册（《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2023]563号）。本次向特定对象发行股票总数量为10,497,245股，发行价格为75.99元/股，实际募集资金总额为人民币797,685,647.55元，扣除本次发行费用（不含税）人民币8,322,726.38元后，实际募集资金净额为人民币789,362,921.17元。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对公司本次向特定对象发行股票的募集资金到位情况进行了审验，并于2023年7月26日出具了《验资报告》（容诚验字[2023]230Z0198号）。
为规范公司募集资金管理，保护投资者的权益，根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》要求，公司已经与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。详细情况请参见公司已于2023年8月8日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《关于开设募集资金专项账户并签订募集资金专户存储三方监管协议的公告》。
由于募集资金投资项目建设需要一定周期并根据公司募集资金投资项目的推进计划，公司的部分募集资金存在暂时闲置的情形。
二、本次使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的相关情况
（一）投资目的
为提高募集资金和自有资金使用效率，合理利用部分暂时闲置募集资金和自有资金，在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排，不变相改变募集资金用途且不影响公司正常业务开展的情况下，增加公司的收益，为公司及股东获取更多回报。
（二）投资产品品种
公司将按照相关规定严格控制风险，使用暂时闲置募集资金和自有资金投资安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等），且该等现金管理产品不得用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。
（三）投资额度及期限
公司计划使用不超过人民币65,000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过30,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，使用期限不超过股东大会审议通过之日起12个月。在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。
（四）实施方式
公司授权管理层在授权额度和期限内行使现金管理投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务中心负责组织实施。
（五）信息披露
公司将依据上海证券交易所的相关规定，及时履行信息披露义务；不会变相改变募集资金用途。
（六）现金管理收益的分配
公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证券监督管理委员会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求管理和使用。
四、对公司的影响
本次使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理是在符合国家法律法规，确保不影响公司募集资金投资项目的进度，有效控制投资风险的前提下进行的，将不会影响公司日常经营和募集资金投资项目的正常开展，亦不会影响公司主营业务的正常发展，不存在损害公司和股东利益的情形。
通过对暂时闲置募集资金和自有资金进行适度、适时的现金管理，可以提高募集资金和自有资金使用效率，增加公司现金资产收益，为公司股东谋取更多的投资回报。
五、风险控制措施
（一）投资风险
本次现金管理方式是购买安全性高、流动性好、有保本约定的金融机构的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等），该类投资产品主要受货币政策等宏观经济政策的影响。公司将根据经济形势以及金融市场的变化适时适量地介入，但不排除该项投资受到市场波动的影响。
（二）风险控制措施
1、公司将严格按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规、《公司章程》以及公司《募集资金使用管理办法》等有关规定办理相关现金管理业务。
2、严格筛选合作对象，选择信誉好、规模大、经营效益好、资金运作能力强的金融机构所发行的安全性高、流动性好、保本型的投资产品，并明确投资产品的金额、期限、投资品种、双方的权利义务及法律责任等。
3、公司财务中心建立台账管理，对资金运用情况建立健全完整的会计账目，做好资金使用的账务核算工作。
4、监事会、独立董事有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。
六、专项意见说明
（一）监事会意见
监事会认为，为提高募集资金和自有资金使用效率，合理利用部分暂时闲置募集资金和自有资金，在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排，不变相改变募集资金用途且不影响公司正常业务开展的情况下，增加公司的收益，为公司及股东获取更多回报。同意计划使用不超过人民币65,000万元（包含本数）的暂时闲置募集资金和不超过30,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，该事项需经股东大会审议，因此使用期限不超过股东大会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。
（二）保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为，公司本次使用部分闲置募集资金和闲置自有资金进行现金管理事项已经公司董事会、监事会审议通过，本次事项尚需提交股东大会审议，公司已履行了现阶段相应的法律程序；公司通过投资安全性高、流动性好的理财产品，可以提高资金使用效率，不涉及变相改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，符合《上市公司监管指引第2号一一上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所股票上市规则》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐机构对公司本次使用部分闲置募集资金和闲置自有资金进行现金管理事项无异议。
七、上网公告文件
1、《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司使用部分暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的核查意见》
特此公告。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
2024年4月24日
证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2024-024
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
关于购买董监高责任险的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
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