华特气体:乙硅烷项目已完成产线安装,目前在小试阶段

华特气体:乙硅烷项目已完成产线安装,目前在小试阶段
2023年12月07日 10:23 界面新闻

华特气体近期接受投资者调研时称,公司锗烷产品去年底已通过韩国最大存储器企业的5纳米制程工艺产线的认证,且已产生订单。乙硅烷项目已完成产线安装,目前在小试阶段,试验产品已供下游部分客户进行认证,仍然处于认证中状态。

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