鼎龙股份11月13日公告,公司于2021年7月以自有或自筹资金布局半导体先进封装材料领域,目前主要产品包括:半导体封装PI,应用于先进封装工艺中的CMP抛光材料,以及用于2.5D/3D(2.5维/3维)晶圆减薄工艺中使用的临时键合胶。
半导体封装PI方面,在产品开发方面,公司已完成六款市面上主流非光敏PI、正性PSPI光刻胶和负性PSPI光刻胶的开发,涵盖高低温固化制程,覆盖不同分辨率、宽膜厚范围、多基底应用场景。目前已有四款产品在客户端测试,在光刻、介电性能、热力学性能、可靠性等多方面性能和国外行业标杆产品对标良好,另外两款产品已完成内部开发,计划客户送样。在应用评价平台建设方面,产品研发和量产出货的重要检测设备先进封装量产型光刻机及配套涂胶显影平台搭建完成。应用于前道晶圆制造IGBT功率模块封装的非光敏PI和正性PSPI光刻胶项目依托于现有资源,与现有产业化设计具备一定相似性。主要用于后道先进封装的负性PSPI光刻胶项目产线已于2023年上半年竣工并成功投产,具备每月吨级的量产能力。
在CMP抛光垫方面,应用于聚酰亚胺抛光的抛光垫已经取得某主流封装厂客户订单;应用于氧化硅抛光和单晶硅抛光的抛光垫正在某主流封装厂客户端进行测试。在CMP抛光液方面,应用于单晶硅介质抛光的抛光液产品已经取得某芯片制造厂客户订单;同时,正在研发针对聚酰亚胺减薄开发搭载自主研磨粒子的抛光液。在CMP清洗液方面,应用于先进封装领域的清洗液已经取得主流芯片制造客户的量产订单。
临时键合胶项目方面,该款临时键合产品在国内某主流集成电路制造客户端的验证及量产导入工作已基本完成,产品性能获得客户端好评,预计2024年一季度有望获得首张订单。在产能建设方面,已完成了临时键合胶(键合胶+解键合胶)合计110吨/年的量产产线建设,具备量产供货能力。
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