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中微公司扩充业务产品线，推出12英寸薄膜沉积设备

中微公司扩充业务产品线，推出12英寸薄膜沉积设备
2023年05月09日 17:23 界面新闻
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5月9日消息，中微公司宣布推出自主研发12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex CW，在保证较低的生产成本和化学品消耗的同时，实现更高的生产效率，预计新产品将有助于公司业务多元化增长。

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