【半导体·周报】国产半导体设备零部件是否能真的迎来行业春天？|晶圆_新浪财经

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观点

上周行情概览：

上周半导体行情跑输主要指数。上周申万半导体行业指数下降3.32%，同期创业板指数上涨1.10%，上证综指上涨2.19%，深证综指上涨1.29%，中小板指上涨0.99%，万得全A上涨1.25%。

半导体各细分板块整体下跌。半导体细分板块中，半导体材料板块上周下跌2.4%，分立器件板块上周下跌2.8%，半导体设备板块上周下跌2.0%，半导体制造板块上周下跌4.6%，封测板块上周下跌2.4%，IC设计板块上周下跌3.6%，其他板块上周下跌2.1%。

我们坚定看好半导体全年的结构性行情。此前我们在报告《结构性行情持续，6大细分赛道值得关注》2022.03.01中提出“在产能持续紧缺的大背景下，我们持续看好全年板块的结构性行情，汽车电子、服务器芯片、特种IC、材料设备、晶圆厂、IoT芯片，6大细分板块机会值得关注”，当前时点进入年报披露窗口期，相关公司业绩超预期或带来短期股价反应。

半导体设备销售额创新高，市场关注点逐渐从设备向设备上游转移。2021年半导体设备的全球销售额预计同比增长45％，增至1030亿美元，创历史新高。2021年来半导体产能持续短缺，各大晶圆厂正在加快扩大产能，市场增长持续超出预期，2022年全球半导体设备销售额有望达到1140亿美元。在全球半导体设备市场景气向上的背景下，其供应链相关企业有望受益。国内半导体设备企业实力的壮大，驱动国内半导体设备零部件产业的发展，零部件的国产化或将成为一种趋势。

设备零部件国产化进程持续推进，相关企业能否能真的迎来行业春天？国际政治不确定性持续提高，半导体全产业链自主化重要性凸显。半导体设备零部件一方面受到下游晶圆厂扩产拉动设备采购需求的影响，同时国产半导体设备厂商也有零部件国产化的需求，看似行业增长逻辑清晰，考虑到设备零部件种类繁多，国产设备零部件是否能真的迎来行业春天，还要取决于设备厂商的国产化比率提升速度，以及相关产业链公司的技术实力。

建议关注：

1）半导体材料设备：有研新材/雅克科技/沪硅产业/华峰测控/北方华创/上海新阳/中微公司/精测电子/长川科技/鼎龙股份；

2）IDM: 闻泰科技/三安光电/时代电气/士兰微/扬杰科技；

3）晶圆代工：华虹半导体/中芯国际；

4）半导体设计：东微半导/复旦微电/圣邦股份/思瑞浦/澜起科技/声光电科/晶晨股份/瑞芯微/中颖电子/斯达半导/宏微科技/新洁能/全志科技/恒玄科技/富瀚微/兆易创新/韦尔股份/卓胜微/晶丰明源/紫光国微/艾为电子/龙芯中科/海光信息；

风险提示：疫情继续恶化、产业政策变化、国际贸易争端加剧、下游行业需求不及预期。

1. 每周谈：晶圆厂集中扩产，国产设备零部件有望受益

1.1. 半导体设备市场增长，推动供应链相关行业国产化

根据SEMI数据，2021年半导体设备的全球销售额预计同比增长45％，增至1030亿美元，创历史新高。由于半导体持续短缺，各大晶圆厂正在加快扩大产能，市场增长持续超出预期，2022年全球半导体设备销售额有望达到1140亿美元。

集成电路设备领域长期保持寡头垄断的市场格局，通常表现为 2-3 家行业龙头占在半导体制造各个环节所需设备的大部分市场份额，在对技术要求非常高的光刻机、薄膜沉积和刻蚀机这三大设备领域表现尤其明显。在集成电路制造过程中，光刻精度决定了元器件刻画的尺寸，刻蚀和薄膜沉积的精度则决定了实际加工后的结果和良率，这三大设备占据整个集成电路前道设备价值的近 70%。

而在这三大领域中，ASML 独自垄断高端光刻机，泛林半导体 LAM 是刻蚀领域的龙头企业，AMAT 更是长年保持行业第一，在多领域都占用重要市场份额。

据中国电子专用设备工业协会统计，中国大陆56家主要半导体设备制造商2020年销售额为242.90亿元，同比增长38.7%；总利润为51.92亿元，同比增长80.5%。其中，集成电路设备总销售额为96.77亿元，同比增长59.0%。国产设备不仅营收和利润快速上升，在创新层面也不断突破，例如北方华创的12英寸电感道等离子体干法金属刻蚀机、盛美股份的3D硅通孔电镀设备、中微股份的深紫外LED MOCVD设备等。

在全球半导体设备市场景气向上的背景下，其供应链相关企业有望受益。国内半导体设备企业实力的壮大，驱动国内半导体设备零部件产业的高速发展，零部件的国产化已然成为一种趋势。

1.2. 晶圆产能增加，设备零部件国产化进程持续推进

近半年以来，全球主力晶圆代工厂和IDM公布了新一轮扩产计划。缺芯大环境下，为满足市场需求，各晶圆代工厂加大扩产力度，资本支出也随之增加。目前，台积电、联电、格芯、中芯国际、世界先进、力积电这几家主要晶圆代工厂2022年资本支出合计达548~588亿美元，包括台积电公布资本开支400-440亿美元，联电30亿美元，格芯45亿美元，中芯国际达约50亿美元，世界先进8.6亿美元。

聚焦国内市场，2020年中国大陆半导体芯片市场规模为1434亿美元，中国大陆半导体芯片产值约为227亿美元，占比约15.9%，按照目前发展情况来看，到2025年可能最多只能达到20%，远远落后于目标70%。因此，我们认为中国大陆晶圆厂商还有较大空间以提升自给率，扩产势在必行，晶圆厂对设备零部件的需求将持续增长。

3月30日晚间，据万业企业公告，大基金二期与装备材料基金拟向公司参股子公司浙江镨芯分别增资3.5亿元与0.4亿元。本次增资后，万业企业仍为浙江镨芯第一大股东，持股29.63%，大基金二期持股17.28%。

增资浙江镨芯是大基金首次布局半导体设备零部件领域，意味着其对半导体零部件环节未来发展前景的看好和重视。通过深化与国内半导体设备企业的产业协同，加速国产半导体零部件领域的突破与发展，有助于打造更联动的本土半导体产业生态圈。

2. 上周半导体行情回顾

上周半导体板块涨幅前 10 的个股为：复旦微电、有研新材、安集科技、综艺股份、法拉电子、国民技术、聚辰股份、紫光国微、斯达半导、至纯科技。

上周半导体板块跌幅前 10 的个股为：闻泰科技、芯朋微、飞凯材料、士兰微、新洁能、亚翔集成、景嘉微、思瑞浦、澜起科技、兆易创新。

3. 上周重点公司公告

【中颖电子 688385.SH】

公司于2022年03月29日发布《中颖电子股份有限公司2021年年度报告》。公告称，报告期内，公司实现营业收入14.94亿元，同比快速增长47.6%；归属于上市公司股东的净利润3.71亿元，同比大幅增长77%。报告期内，客户需求强劲，但全球半导体供应链普遍性的产能紧张，导致公司产品供不应求，销售增长实际受限于公司能取得的上游产能。公司致力维持与上游代工伙伴的紧密合作，为保障取得上游代工产能的持续增长，公司支付了大额的长期产能预付款及保证金，这也体现了经营层对公司的长期展望极有信心。报告期内，家电及电机控制芯片销售占比近半，其次占比依序为锂电池管理芯片及AMOLED显示驱动芯片。公司AMOLED显示驱动芯片销售同比成长数倍，锂电池管理芯片销售同比成长逾倍，其他主要产品线并计则同比平稳增长。

【士兰微 600460.SH】

公司于2022年03月29日发布《杭州士兰微电子股份有限公司2021年年度报告》。公告称，2021年，公司营业总收入为719,415万元，较2020年增长68.07%；公司营业利润为173,459万元，比2020年增加177,036万元；公司利润总额为173,058万元，比2020年增加176,830万元；公司归属于母公司股东的净利润为151,773万元，比2020年增加2145.25%。2021年，公司营业利润和利润总额均扭亏为盈，主要是因为：（1）2021年公司基本完成了年初制定的芯片制造和封装产能建设目标，公司产品持续在白电、通讯、工业、光伏、新能源汽车等高门槛市场取得突破；（2）2021年公司子公司士兰集昕公司8英寸芯片生产线基本保持满产，并不断优化产品结构，产品综合毛利率提高至20.70%，实现全年盈利；（3）2021年公司持有的其他非流动金融资产增值较多。

【芯原股份 688521.SH】

公司于2022年03月30日发布《芯原微电子（上海）股份有限公司2021年年度报告》。公告称，2021年度，公司实现营业收入21.39亿元，同比增长42.04%，其中半导体IP授权业务（包括知识产权授权使用费收入、特许权使用费收入）同比增长20.81%，一站式芯片定制业务（包括芯片设计业务收入、量产业务收入）同比增长55.51%。2021年第四季度单季度实现营业收入6.18亿元，同比增长38.86%。报告期内，公司消费电子领域实现营业收入6.61亿元，物联网领域实现营业收入5.44亿元，上述两类下游行业贡献的营业收入占比合计为56.32%，占比较2020年度的65.90%有所下降，主要由于公司数据处理、计算机及周边、汽车电子三类下游行业收入增速较高，分别为102.42%、100.54%、56.17%。

【通富微电 002156.SZ】

公司于2022年03月30日发布《通富微电子股份有限公司2021年年度报告》。公告称，公司主要从事集成电路封装测试一体化服务。2021年，是公司发展历程中浓墨重彩的一年，公司实现营业收入158.12亿元，同比增长46.84%，在2020年百亿营收的基础上，继续实现大幅增长，公司市占率较2020年持续提升，营收规模继续排名全球行业第五位（数据来源：芯思想研究院）；公司盈利显著提升，2021年实现净利润9.66亿元，同比增长148.76%，创历史最高水平。2021年，公司技术研发水平再创新高，公司作为主要参与完成单位、石磊总经理作为主要完成人的《高密度高可靠电子封装关键技术及成套工艺》项目喜获国家科技进步一等奖；公司承担的国家重大科技“02专项”顺利收官；在先进封装方面公司已大规模生产Chiplet产品，7nm产品已大规模量产，5nm产品已完成研发即将量产，公司技术实力上升到一个前所未有的高度。

【南大光电 300346.SZ】

公司于2022年03月31日发布《江苏南大光电材料股份有限公司2021年年度报告》。公告称，2021年是公司“二次创业”转型成功的关键之年。培养全球产品服务单项冠军，是公司抢抓全球供应链调整机遇，深耕半导体材料产业链的基本战略。报告期内，公司以先进前驱体材料、电子特气和光刻胶三大半导体核心材料为主业的战略布局逐步完善，重大科技攻关项目实现重大突破，核心增长和业务协同效应凸现，市场和品牌形象大幅提升，主营收入和扣非利润实现快速增长。报告期内，公司实现营业收入98,444.63万元，同比增长65.46%；归属于上市公司股东的净利润13,622.66万元，同比增长56.55%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益后的净利润7,042.00万元，同比增长3,225.70%。

【南大光电 300346.SZ】

公司于2022年03月31日发布《江苏南大光电材料股份有限公司2022年第一季度业绩预告》。公告称，2021年公司归母净利润预计7,000万元–8,300万元，比上年同期增长64..33%-94.85%；扣非净利润5,400万元–6,700万元，比上年同期增长：67.57%-107.92%。业绩变动主要原因为（1）2022年第一季度，公司主营收入和归母净利润继续保持高速增长。（2）MO源业务在产能扩大、品质提升和毛利提高的基础上，通过技术创新不断优化产品和客户结构，逐步进入第三代半导体、IC及光伏领域，市场份额稳步提升。（3）公司氢类电子特气紧跟市场和客户需求，进一步扩大产能，持续提升市场份额。（4）公司氟类电子特气市场仍然处于供不应求状态。（5）报告期内，预计非经常性损益对净利润的影响金额约1,600万元。

【中芯国际 688981.SH】

公司于2022年03月31日发布《中芯国际集成电路制造有限公司2021年年度报告》。公告称，报告期内，该集团实现主营业务收入35,080.6百万元,同比增加30.0%。其中，晶圆代工业务营收为32,134.3百万元，同比增长34.0%。报告期内各地区业务收入均实现增长。其中，中国内地及中国香港业务收入占主营业务收入的64.0%；北美洲业务收入占主营业务收入的22.3%；欧洲及亚洲业务收入占主营业务收入的13.7%。在应用领域方面，智能手机类应用收入占晶圆代工业务营收的32.2%；消费电子类应用收入占晶圆代工业务营收的23.5%；智能家居类应用收入占晶圆代工业务营收的12.8%；其他应用类收入占晶圆代工业务营收的31.5%。在技术节点方面，来自90纳米及以下制程的晶圆代工业务营收的比例为62.5%。其中，55/65纳米技术的收入贡献比例为29.2%，40/45纳米技术的收入贡献比例为15.0%，FinFET/28纳米的收入贡献比例为15.1%。

【中微公司688012.SH】

公司于2022年03月31日发布《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年年度报告》。公告称，公司2021年营业收入为31.08亿元，较2020年增加约8.35亿元；2021年毛利为13.48亿元，较2020年增加约4.91亿元，同比增加57.38%，主要系：受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，2021年刻蚀设备收入为20.04亿元，较2020年增长约55.44%，毛利率达到44.32%；由于下游市场原因以及本年新签署的MiniLEDMOCVD设备规模订单尚未确认收入，2021年MOCVD设备收入为5.03亿元，较2020年增长约1.53%，但MOCVD设备的毛利率达到33.77%，较2020年的18.65%有大幅度提升。公司2021年新签订单金额为41.3亿元，较2020年增加约19.6亿元，同比增加约90.5%。

【长电科技 600584.SH】

公司于2022年03月31日发布《江苏长电科技股份有限公司2021年年度报告》。公告称，（1）归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润：报告期公司实现归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润24.87亿元，较上年同期实现较大幅度增长，主要系报告期内，公司持续聚焦高附加值、快速成长的市场热点应用领域，整合提升全球资源效率,强化集团下各公司间的协同效应、技术能力和产能布局等举措，以更加匹配市场和客户需求，打造业绩长期稳定增长的长效机制，使公司各项运营积极向好。同时，来自于国际和国内客户的订单需求强劲，各工厂持续加大成本管控与营运费用管控，调整产品结构，全面推动盈利能力提升。（2）经营活动产生的现金流量净额：主要系营收同比增长，销售回款增加，以及国内外各工厂运营管理能力的持续提升。（3）归属于上市公司股东的净资产：主要系报告期公司完成非公开发行A股股票事项，募集资金到账，以及报告期业绩上升、盈利增长所致。（4）基本每股收益：基本每股收益上升主要系收入增长，盈利能力提升。

【天岳先进 688234.SH】

公司于2022年04月01日发布《山东天岳先进科技股份有限公司2021年年度报告》。公告称，2021年，公司实现营业总收入49,385.68万元，较上年同期增长16.25%；实现归属于母公司所有者的净利润8,995.15万元，较上年同期增加73,156.48万元。根据yole报告统计，2021年公司在半绝缘碳化硅衬底领域，市场占有率连续三年保持全球前三。同时，公司正加快提升导电型衬底产能建设。

【复旦微电688385.SH】

公司于2022年04月01日发布《上海复旦微电子集团股份有限公司关于2022年度第一季度业绩预告的自愿性披露公告》。公告称：（1）预计营业收入约为人民币75,000.00万元至82,000.00万元，与上年同期相比，将增加24,798.89万元至31,798.89万元，同比增加49.40%至63.34%；（2）预计实现归属于母公司所有者的净利润约为人民币19,500.00万元至25,000.00万元，与上年同期相比，将增加10,860.87万元至16,360.87万元，同比增加125.72%至189.38%；（3）预计归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约为人民币19,000.00万元至24,500.00万元，与上年同期相比，将增加11,880.37万元至17,380.37万元，同比增加166.87%至244.12%。

【中颖电子688385.SH】

公司于2022年04月01日发布《中颖电子股份有限公司2022年第一季度业绩预告修正公告》。公告称，前次业绩预告情况为：预计2022年第一季度归属于上市公司股东的净利润为10,137万元—11,151万元，扣除非经常性损益后的净利润为10,101万元—11,115万元，基本每股收益0.3301元/股-0.3632元/股。本次修正后为：预计2022年第一季度归属于上市公司股东的净利润为12,162万元—13,176万元，扣除非经常性损益后的净利润为10,300万元—11,314万元，基本每股收益0.3961元/股-0.4291元/股。业绩预告修正主要系因公司于2022年3月31日查收到政府发放的自主创新补贴款人民币2,025万元，导致非经常性损益对归属于上市公司股东净利润的预计影响金额发生变动，2022年第一季度非经常性损益对归属于上市公司股东净利润的影响金额由36万元调整为1,862万元。

4. 上周半导体重点新闻

中微公司收到兆驰股份52腔MOCVD设备采购订单。3月28日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）全资子公司南昌中微半导体设备有限公司（以下简称“南昌中微”）接到来自江西兆驰半导体有限公司52腔PrismoUnimax®MOCVD设备采购订单，签约仪式日前已于南昌高新区顺利举行。

台积电、三星呼吁美国520亿美元芯片补贴计划对外国公司开放。北京时间3月28日晚间消息，据报道，台积电和三星电子日前敦促美国政府，允许外国公司参与其520亿美元的半导体投资和补贴计划。上个月，美国众议院通过了《2022年美国竞争法案》，其中包括520亿美元的半导体投资和补贴计划，以扩大美国本土芯片工厂建设，提升市场竞争力。作为全球最大的两家芯片代工厂商，台积电和三星电子均计划斥资数十亿美元，在美国建设新的尖端工厂。在回应“美国商务部要求提供信息以帮助规划和实施该计划”时，台积电表示：“基于公司总部所在地的任何偏袒和优待，并不是对拨款的有效或高效利用，也忽视了大多数领先半导体公司的公共所有权。”

国产首台自主研发的8LP双天车系统SORTER在终端客户成功通过认证。2022年3月28日，由上海果纳半导体设备有限公司研发团队自主设计生产的国产首台8LP双天车系统的sorter（晶圆传输设备），取得终端客户认证。晶圆传输设备在实现国产化的道路上再次获得技术突破；作为国内半导体传输设备制造的新锐企业，果纳由刚刚被评为“2022最值得关注的女性创业者”之一的创始人叶莹女士的布局发展下，历经短短1年多的快速发展中，陆续获得国内多家知名半导体设备及制造企业的认可，团队以优质快速的服务响应，满足客户定制化的产品研发理念；不断攻克技术难题，对标国际先进水平，打破行业技术垄断，实现弯道超越。这是国产半导体产业良性发展的关键，同时代表着芯片行业细分领域国产自动化设备取得长足进展。

ASML将于新加坡扩建新产线。IT之家3月29日消息，光刻机巨头阿斯麦ASML在新加坡一间工厂的开幕式上宣布，将在该工厂兴建第二座制造车间，预计将于2023年初投产。扩建后的工厂将让该公司在新加坡的产能增加3倍，全球产能倍增。ASML是世界领先的科技公司之一，全球半导体价值链的主要参与者。这里设计的技术和机器有助于在新加坡、韩国或美国生产芯片。世界上最大的芯片制造商们都需要这种设备。在生产处理器芯片的过程中，EUV光刻机最昂贵。目前全世界只有阿斯麦（ASML）能制造出EUV光刻机。在过去的十年时间里，阿斯麦总共售出大约140套EUV光刻机，现在每一套系统的成本高达2亿美元。其新一代高数值孔径（HighNA）光刻机的价格将超过3亿美元。

华虹半导体发布二零二一全年业绩公告。华虹半导体有限公司3月30日宣布公司截至二零二一年十二月三十一日止年度的综合业绩。摘要如下：销售收入创历史新高，达16.308亿美元，较上年度增长69.6%。毛利率为27.7%，较二零二零年上升3.3个百分点，主要由于平均销售价格上涨，产能利用率提升以及产品组合优化，部分被折旧费用增加所抵销。净利润为2.310亿美元，较二零二零年上升593.3%。母公司拥有人应占年内溢利为2.615亿美元，较二零二零年上升162.9%。基本每股盈利为0.201美元，较二零二零年上升161.0%。净资产收益率为9.7%，较二零二零年上升5.5个百分点。经营活动所得现金流量净额为5.185亿美元，较二零二零年上升92.7%。月产能由223,000片增至313,000片8英寸等值晶圆。付运晶圆（8英寸等值晶圆）由2,191,000片增至3,328,000片。

英特尔战略投资威兆半导体。3月31日，英特尔资本对外投资了一家中国功率半导体芯片设计公司——深圳市威兆半导体有限公司（下称“威兆半导体”）。威兆半导体此前已获得OPPO、小米、华勤技术、元禾璞华、动平衡等多家产业和专业机构战略投资，并在2021年7月获得国家级专精特新“小巨人”企业认定。据悉，本次英特尔资本投资的资金将继续用于威兆半导体研发技术、供应链技术、品质管理、技术行销等四大半导体设计公司核心能力提升，用于相关的高端人才引入和硬件设施投入。

士兰微：12吋线2期预计今年四季度投产。4月1日，士兰微在机构投资者调研活动中称，年报中提到的2022年营收目标100亿左右，主要增长点是IPM模块、PIM模块、MEMS传感器、AC-DC电路、DC-DC电路、手机快充芯片、PoE电路、IGBT、MOSFET、FRD等产品。SiC目前还是中试线。公司已着手在厦门士兰明镓公司建设一条6吋SiC功率器件芯片生产线，预计在今年三季度实现通线。12吋线2期预计在今年四季度投产，设备目前正在陆续到达。预计在2022年底前实现6万片/月的生产能力。第二条12吋线目前没有计划。

5. 风险提示：

疫情继续恶化、产业政策变化、国际贸易争端加剧、下游行业需求不及预期。

注：文中报告节选自天风证券研究所已公开发布研究报告，具体报告内容及相关风险提示等详见完整版报告。

证券研究报告《国产半导体设备零部件是否能真的迎来行业春天？》

对外发布时间 2022年4月5日

报告发布机构天风证券股份有限公司

本报告分析师：

潘暕 SAC执业证书编号：S1110517070005

骆奕扬 SAC执业证书编号：S1110521050001

程如莹 SAC执业证书编号：S1110521110002