固高科技:微纳加工设备控制系统精度的综合呈现

固高科技:微纳加工设备控制系统精度的综合呈现
2024年08月30日 15:58 问董秘

投资者提问:

公司的运动控制系统精度可以做到纳米级吗?国产光刻机,刻蚀机需要控制系统精度在几纳米左右?

董秘回答(固高科技SZ301510):

实际上微纳加工精度的呈现是整个机电系统最终综合呈现出的状态。 以半导体/泛半导体设备、高端数控机床为代表的微纳加工设备是公司部件或系统技术与产品重要应用领域,公司的控制、伺服等部件产品与系统是微纳加工设备技术拼图中的一块。

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