英诺激光:高功率薄片超快激光器技术储备与EUV光源应用前景

英诺激光:高功率薄片超快激光器技术储备与EUV光源应用前景
2024年07月29日 16:16 问董秘

投资者提问:

“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化” 项目启动会成功召开,由英诺激光牵头,公司在高功率薄片超快激光器技术储备怎么样,高重频超快激光是支撑EUV光源预脉冲的核心技术,EUV光源有没有可能应用到国产光刻机

董秘回答(英诺激光SZ301021):

尊敬的投资者,您好!作为国内固体和超快激光器龙头企业之一,公司持续打造激光器的领先优势,始终致力于布局新一代激光器技术,围绕短脉冲、短波长和高功率等方向开发新型激光器。此次,由公司牵头的该项目是基于上述规划的阶段性进展之一。 激光器是公司的“立身之本”,也是提高激光技术渗透率的“能力之要”。感谢您的关注!

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