晶瑞电材: ARF光刻胶研发有序进行,部分样品已送客户验证

晶瑞电材: ARF光刻胶研发有序进行,部分样品已送客户验证
2024年07月22日 15:49 问董秘

投资者提问:

ARF 光刻胶现在进展到底怎么样?测试ARF光刻胶的光刻机调试完成了吗? 能正常使用吗?

董秘回答(晶瑞电材SZ300655):

尊敬的投资者您好!公司共有5台光刻 机,分别用于紫外宽谱、g线、i线、KrF和ArF产品的研发以及量产,ArF高端光刻 胶研发工作在有序开展中,部分样品已开展客户送样验证工作。感谢您对公司的关注与支持!

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