投资者提问:
ARF 光刻胶现在进展到底怎么样?测试ARF光刻胶的光刻机调试完成了吗? 能正常使用吗?
董秘回答(晶瑞电材SZ300655):
尊敬的投资者您好!公司共有5台光刻 机,分别用于紫外宽谱、g线、i线、KrF和ArF产品的研发以及量产,ArF高端光刻 胶研发工作在有序开展中,部分样品已开展客户送样验证工作。感谢您对公司的关注与支持!
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